程序编写手册 - 第22页
www.pemtron.com 22 步骤 3 :FOV 图像显示后，请按右键点选 Inspection Pad 。 图 III-3-3 Inspection Pad 步骤 4 : 以下是 “ ROI Analysis （ ROI 分析） 。 图 III-3-4 ROI Analysis
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图
III-2-40 对话框
III-3 检测环境安装方法
III-3-1 检测参数安装程序
步骤 1： 在布局窗口里按左键选择 FOV 后，把鼠标移动到粉红色的 FOV 框架里。
图
III-3-1 布局窗口
步骤 2：若框标没被读取，将弹出“Fiducial Mark reading check（框标确定程序）”对话框。请单击“Yes”，
程序结束后，请点选“FOV”。
图
III-3-2 确认读取框标
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步骤 3:FOV 图像显示后，请按右键点选 Inspection Pad。
图
III-3-3 Inspection Pad
步骤 4: 以下是 “ROI Analysis（ROI 分析）。
图
III-3-4 ROI Analysis
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步骤 5: FOV 图像显示后，请按右键点选 Inspection Pad。
图
III-3-5 检测环境设定（Inspection condition）
步骤 6: 更改设定后，在右下方上按“Inspect”
键
。若需要调正设定数值，请重新设置临界值和警告值。.
图
III-3-6 Run 菜单
若省略检测步骤，请按“APPLY”。
设定各项数值后，需要导入其他 Pad，请在下面中选择。
图
III-3-7 导入环境设定（Importing condition）
・《Init.》 更改初步环境设定
・《Link figure》 更改 Pad 形状
・《Link ref.name》 更改标记
・《Link pattern》 更改所有 Pad 的模型
・《Link all》 更改所有检测数据
临界值
警告值