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NPM-DX 2018.0601 - 104 - ■ 调整螺栓的配置 图 ( 单位 : mm) 前 侧 传送带基准面 电源 0.5MPa ～ 0.8MPa
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13.
尺寸图
(
单位
: mm)
Remarks
上述示图的缩小比例与实际机器在严格上讲，并不完全一致。
在研讨生产线构成和尺寸时，请另行索取资料。
本机下部如有设置通风道等时，请确保与主体间空隙保持 40 mm 以上。
交换台车规格
(主体)
(
基板传送高度
)
(传送带宽度)
(罩外形)
前 侧
Air
电源
基板传送基准
(前侧轨道)
基板传送基准
(后侧轨道)
交换台车
交换台车
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■ 调整螺栓的配置图
(
单位
: mm)
前 侧
传送带基准面
电源
0.5MPa ～ 0.8MPa
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交换台车时，是必须的最小限空间。
设置机器时请必须确保以下的空间。
(
单位
: mm)
Remarks
交换台车设置范围的地面倾斜，需要台车的左右方向在
6 mm
以内，前后方向在
11 mm
以内。
地面倾斜度超过此范围时，不可搬移交换台车。
前 侧
491
859
3736
1525 2211
868 657 657 686 868