D3Parts List__N7202A043B - 第173页
25 キットリスト KIT LIST Kit Name 番号 Part No. キット名 品 番 No. Rank Q'ty 数量 ﾗﾝｸ 頁 Page 89 N610095857AB MULTIFUNCTIO NAL TRANSFE R UNIT:NP M 汎用型転写ユニット(メカ):NPM 1 O30 9 90 N610102174AA MULTIFUNCTIO NAL TRANSFE R UNIT(H) 汎用型転写ユニッ…
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キットレイアウト
KIT LAYOUT
--
U49
( KEJM6DS-37-25 )
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キットリスト
KIT LIST
Kit Name
番号
Part No.
キット名
品 番
No.
RankQ'ty
数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
89
N610095857AB
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER
UNIT:NPM
汎用型転写ユニット(メカ):NPM
1
O309
90
N610102174AA
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER UNIT(H)
汎用型転写ユニット(制御)
1
O329
91
N610105847AA
SCRAPER
SCRAPER
1
O331
92
N610072046AA
GAUGE 0-250micro/scale10micro
膜厚ゲージ 0-250μm/目盛10μm
1
O333
93
N610072047AA
GAUGE 0-500micro/scale20micro
膜厚ゲージ 0-500μm/目盛20μm
1
O335
U50
--
( KEJM6DS-37-25 )
26
キットレイアウト
KIT LAYOUT
--
U51
( KEJM6DS-37-26 )