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NPM-W 2 EJM7DC-MB-02M-0 0 概要 基板传送带 各单元定期检查部位 2 ＜各类型共同点＞ 2-1-6 -3 维修保养篇 2-1-6 前侧 ・ 后侧 * 在基板检测传感器的各轨道上，存在 4 种透过类型、 2 个反射类型。 延长传送带 前侧 ■单轨传送带 基板检测 传感器 基板传送皮带 ■双轨传送带 基板检测 传感器 基板传送皮带 ■双轨传送带 ■单轨传送带 线性导轨 基板检测传感器 宽度调整滚珠丝杠 基板支撑块 线…