N7201A617C00_0316 - 第101页
NPM-W 2 EJM7DC-MB-02M-0 0 2-1-6 -4 概 要 交换台车 空编带箱 多功能识别照相机 切割单元 料架工作台 连接器 玻璃盖 前侧 ・ 后侧 前侧 ・ 后侧
NPM-W2 EJM7DC-MB-02M-00
概要
基板传送带
各单元定期检查部位 2
＜各类型共同点＞
2-1-6-3
维修保养篇
2-1-6
前侧・后侧
*在基板检测传感器的各轨道上，存在4
种透过类型、2个反射类型。
延长传送带
前侧
■单轨传送带
基板检测
传感器
基板传送皮带
■双轨传送带
基板检测
传感器
基板传送皮带
■双轨传送带
■单轨传送带
线性导轨
基板检测传感器
宽度调整滚珠丝杠
基板支撑块
线性导轨
宽度调整滚珠丝杠
基板检测
传感器
线性导轨
基板传送皮带
基板传送皮带
宽度调整滚珠丝杠
基板传送皮带
基板传送皮带
基板检测传感器
基板检测传感器
基板检测传感器
NPM-W2 EJM7DC-MB-02M-00
2-1-6-4
概
要
交换台车
空编带箱
多功能识别照相机
切割单元
料架工作台
连接器
玻璃盖
前侧・后侧
前侧・后侧
NPM-W2 EJM7DC-MB-02M-00
概要
各单元定期检查部位 3
＜各类型共同点＞
2-1-6-5
维修保养篇
2-1-6
主控制器
前侧
过滤器