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NPM-W 2 EJM7DC-MB-06M-0 0 6-5 -1 基板 / 延长传送带 ( 选购件 ) 的检查 1 维修保养篇 6-5 卸下交换台车 ( → P.3-2) 1 2 将传送带宽度调 整为 150 mm( 为 了更有利于操作 ) ( → 『操作篇』 P.2-5-4) 4 基板传送皮带的检查 OFF SERVO 3 ●以前基准为前提，对前侧操作进行 说明。 ●后基准时，卸下托盘供料器，在后 侧进行操作。 对基板传送带的检查方法…
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装上新的吸着垫圈
清扫吸嘴交换器上面
●请勿在和吸嘴反射板的接触
面上留下灰尘。
●请确认挡板和吸嘴交换器的
空隙间没有夹住灰尘等异物。
吸嘴交换器
棉纱布
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取下有破损的吸着垫圈
●8吸嘴贴装头用垫圈
吸嘴:140(N)、185(N)、199(N)时也可使用。
●为了稳定吸着元件，有的吸嘴有吸着垫圈。
当吸着垫圈有破损或裂纹时，请更换吸嘴垫圈或者吸嘴本体。
(1004吸嘴、1005吸嘴等)
每
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小
时
保
养
定
期
检
查
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6-5-1
基板/延长传送带(选购件)
的检查 1
维修保养篇
6-5
卸下交换台车
(→P.3-2)
1 2
将传送带宽度调
整为150 mm(为
了更有利于操作)
(→『操作篇』P.2-5-4)
4
基板传送皮带的检查
OFF
SERVO
3
●以前基准为前提，对前侧操作进行说明。
●后基准时，卸下托盘供料器，在后侧进行操作。
对基板传送带的检查方法进行说明。
使用工具:皮带张力计 单轨传送所需时间:10分钟 双轨传送带所需时间:15分钟
5
6
把料架工作台盖
往内推
把X轴往内推
●当不易进行操作时，请取下
料架工作台盖。
●请不要倚靠在料架工作台盖
上，或者在盖上放置物品。
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每
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6
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小
时
保
养
定
期
检
查
检查皮带
可动侧
固定侧
■单轨传送带
皮带
■双轨传送带
可动侧
固定侧
可动侧
固定侧
轨道1侧
轨道2侧
7
顺序
8
电机滚轮
●将皮带套上电机滚轮(下图箭头所指部位)，如果发现划痕、
灰尘等附着、磨损、擦伤等现象，则实施更换。
●双轨传送带的各轨道上有8条、单轨传送带有8条。(参照下
图）
●电机滚轮位置
●皮带位置
●电机滚轮位置
●皮带位置