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NPM-W 2 EJM7DC-MB-13M-0 0 13-17 -1 ●以下的顺序和 STEP 1 的 面补正 XY 相同。 ( → P.13-3) + + ( 把传送带的宽度调整到面补正治具的宽 度 ) ●如果显示「错误」， 请取出设备内的基板，重新操作。 确认提示 + ( 把检查头移动到退避位置 ) 确认提示 + ( 按钮开始计测 ) 2 1 1 2 3 3 4 4 此操作是检查头用的校准程序。 面补正是通过手工操作来完成，请按 照…
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选择工作台
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+
(检查头开始动作，计测照相机的偏移量)
确认是否正常结束
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●当发生错误时，请确认歪斜补正板是
否脏污。如果脏污，请用吹气毛刷清扫
后再次实施测量。
●如果通过上述方法仍无法消除错误，
请与敝公司联络。
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●以下的顺序和STEP 1的面补正XY相同。
(→P.13-3)
+
+
(把传送带的宽度调整到面补正治具的宽
度)
●如果显示「错误」，
请取出设备内的基板，重新操作。
确认提示
+
(把检查头移动到退避位置)
确认提示
+
(按钮开始计测)
2
1
1
2
3
3
4
4
此操作是检查头用的校准程序。
面补正是通过手工操作来完成，请按照面补正治具的幅度来调整前工序和后工序的搬送传送带的宽度。
●校准之前，请卸下所有的支撑销。
●本操作需要与STEP 1的面补正XY一起实施。
检查面补正
(2D检查头)
维修保养篇
13-17
确认设备内没有基板或支撑销
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