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SIPLACE D1 / D2 9 维护段位器光栅盘 2008 年 8 月中文版 8.1 拾取组件维护 （仅适用于 SIPLACE D1 ） 79 ① 顺时针转动纵向真空孔内的 1.4 mm 钻头以清除 污物。 转动钻头，清除孔内的污物。 ② 使用 1.1 mm 钻头清除横向真空孔内的污物。 9 执行此步骤时戴上实验室手套。 9 9 9 ③ 检查段位器光栅盘虹吸盘是否损坏。 如果损坏，则更换。 ③ 用干无纺布清洁段位器光栅盘虹吸盘。 9…
9 维护段位器光栅盘 SIPLACE D1 / D2
8.1 拾取组件维护 （仅适用于 SIPLACE D1） 2008 年 8 月中文版
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SIPLACE D1 / D2 9 维护段位器光栅盘
2008 年 8 月中文版 8.1 拾取组件维护 （仅适用于 SIPLACE D1）
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① 顺时针转动纵向真空孔内的 1.4 mm 钻头以清除污物。
转动钻头，清除孔内的污物。
② 使用 1.1 mm 钻头清除横向真空孔内的污物。
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执行此步骤时戴上实验室手套。 9
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③ 检查段位器光栅盘虹吸盘是否损坏。
如果损坏，则更换。
③ 用干无纺布清洁段位器光栅盘虹吸盘。
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8.1 拾取组件维护 （仅适用于 SIPLACE D1） 2008 年 8 月中文版
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