00194860-0202-MM-D1_D2_CHS - 第80页
9 维护段位器光栅盘 SIPLACE D1 / D2 8.1 拾取组件维护 （仅适用于 SIPLACE D1 ） 2008 年 8 月中文版 80 9
SIPLACE D1 / D2 9 维护段位器光栅盘
2008 年 8 月中文版 8.1 拾取组件维护 （仅适用于 SIPLACE D1）
79
① 顺时针转动纵向真空孔内的 1.4 mm 钻头以清除污物。
转动钻头，清除孔内的污物。
② 使用 1.1 mm 钻头清除横向真空孔内的污物。
9
执行此步骤时戴上实验室手套。 9
9
9
③ 检查段位器光栅盘虹吸盘是否损坏。
如果损坏，则更换。
③ 用干无纺布清洁段位器光栅盘虹吸盘。
9
9
9
9
9
9
9
9
9
9
9
9
9
9
9
9
9
9
9
9
9 维护段位器光栅盘 SIPLACE D1 / D2
8.1 拾取组件维护 （仅适用于 SIPLACE D1） 2008 年 8 月中文版
80
9
SIPLACE D1 / D2 9 维护段位器光栅盘
2008 年 8 月中文版 8.1 拾取组件维护 （仅适用于 SIPLACE D1）
81
① 用浸有无水乙醇的无纺布清洁段位器光栅盘的边缘。
9
② 用浸有无水乙醇的无纺布清洁段位器光栅盘的增量盘。
9
③ 用浸有无水乙醇的无纺布清洁段位器光栅盘轴。
9
④ 用浸有无水乙醇的脱脂棉签小心地清洁球状收集盘边缘。
9
9