RHS2B_维修手册(I O表) - 第111页

RHS2B 维修手册 5.2 常规检查 DA4MCC- 80-020-A0 5.2-23 5.2.22 主控制器图 5.2-21: 主控制器检查周期检查项目每月 • 确保连接器没有松动。

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维修手册

5.2 常规检查

5.2-22 DA4MCC-80-020-A0

5.2.21 真空泵

图 5.2-20: 真空泵

检查

周期检查项目

每日

• 确保真空计读数为最小 80 Kpa。

• 用空气鼓风吹扫方法，清洗真空泵的过滤器。

每月

• 用空气鼓风吹扫方法，清洗真空泵的冷却散热片。

Cooling fins

Filter

冷却散热片

过滤器

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5.2 常规检查

DA4MCC-80-020-A0 5.2-23

5.2.22 主控制器

图

5.2-21: 主控制器

检查

周期检查项目

每月

• 确保连接器没有松动。

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5.2 常规检查

5.2-24 DA4MCC-80-020-A0