SP28P-DH - 第118页
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31 KXF02T9AA00 ELBOW M-5HL-4 4
32 1956C281771 BOLT CBS10-50 1
33
34 1956C265011 BRACKET 1
35 1956C265021 BRACKET 1
36 KXFB02E3B00 BRACKT 1
37 1956C261190 BRACKET 1
38 1956C281800 SCREW CBD6-4 1
39 1956C281810 WASHER SSWA9-2 1
40 1956C281820 SCREW CBD6-2 1
41 1956C281830 PLUNGER PBF-5-KN 1
42
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60
NO
番号
MO機番
ユニット名称
マスククリーニングユニット:SP28P-DH
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ランク 備考
Mask cleaning unit:SP28P-DH
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
1956C2M0000
10-B
UNIT NUMBER
ユニットNo.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
− −93 06 0003−( )


1 1956C211013 PLATE 1
2 1956C211093 PLATE 1
3 1956C211401 BAR 1
4 1956C211411 PLATE 1
5 1956C211432 BRACKET 1
6 1956C211462 BLOCK 1
7 1956C211472 BRACKET 1
8 1956C211482 BRACKET 1
9 1956C211511 PLATE 1
10 1956C211540 PLATE 3
11 1956C211570 BLOCK 1
12 1956C261042 PLATE 1
13 1956C261051 BRACKET 1
14 1956C261100 BRACKET 6
15 1956C261110 BRACKET 2
16 1956C261152 DOG 1
17 1956C261161 DOG 1
18
19
20 1956C281010 BLOCK SSR25×W1UUE Block(DA) 2
21 KXF0A7AAA00 CYLINDER CDQ2A32-30D-A73 1
22 KXF09JTAA00 BRACKET YB-03 1
23 KXF09JUAA00 JOINT YU-03 1
24 KXF00ZBAA00 SPEED-CONTROLLER AS2201F-01-04S 1
25 KXF0A7BAA00 GUIDE SSR15XWY1UU+160L 1
26 KXF09JMAA00 CYLINDER CJ2B16-45 1
27 KXF09T2AA00 D-PIN MSTH10-35 2
28 KXF00RYAA00 HANDLE A-231-2 1
29 KXF09T3AA00 ROLLER UMBB8-30 1
30 KXF07C0AA00 D-PIN MSTH6-20 1
NO
番号
MO機番
ユニット名称
マスククリーニングユニット:SP28P-DH
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ランク 備考
Mask cleaning unit:SP28P-DH
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
1956C2M0000
10-C
UNIT NUMBER
ユニットNo.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
− −95 08 0002−( )