SP28P-DH - 第127页
31 1956C283171 TUBE Chemi-flex inner diameter φ19 2.5m 1 32 KXF0B66AA00 JOINT No.376 SJ-EN-30×1 1/4 1 33 34 KXF0DWCKA00 HOSE KP duct φ32 1 35 1956C283210 BAND VE28 1 36 1956C283220 BAND VE54 7 37 38 39 40 41 KXF078BAA00 …
31 1956C283171 TUBE Chemi-flex inner diameter φ19 2.5m 1
32 KXF0B66AA00 JOINT No.376 SJ-EN-30×1 1/4 1
33
34 KXF0DWCKA00 HOSE KP duct φ32 1
35 1956C283210 BAND VE28 1
36 1956C283220 BAND VE54 7
37
38
39
40
41 KXF078BAA00 PH-SENSOR GT7SN 1
42 KXF05EMAA00 PIN-HOLE-PLATE GP5-1 2
43 KXF07CPAA00 SPACER BSU-535 4
44 KXFB02E5A00 BRACKET 1
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NO
番号
ＭＯ機番
ユニット名称
ﾏｽｸｸﾘｰﾆﾝｸﾞﾕﾆｯﾄ:SP28P-DH
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ﾗﾝｸ 備考
Mask cleaning unit:SP28P-DH
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
1956C2M0000
10-E
UNIT NUMBER
ユニットＮｏ.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
− −101 14 0004−（ ）
