SP28P-DH - 第128页
在线预览 SP28P-DH PDF 文档。
31 1956C283171 TUBE Chemi-flex inner diameter φ19 2.5m 1
32 KXF0B66AA00 JOINT No.376 SJ-EN-30×1 1/4 1
33
34 KXF0DWCKA00 HOSE KP duct φ32 1
35 1956C283210 BAND VE28 1
36 1956C283220 BAND VE54 7
37
38
39
40
41 KXF078BAA00 PH-SENSOR GT7SN 1
42 KXF05EMAA00 PIN-HOLE-PLATE GP5-1 2
43 KXF07CPAA00 SPACER BSU-535 4
44 KXFB02E5A00 BRACKET 1
45
46
47
48
49
50
51
52
53
54
55
56
57
58
59
60
NO
番号
ＭＯ機番
ユニット名称
ﾏｽｸｸﾘｰﾆﾝｸﾞﾕﾆｯﾄ:SP28P-DH
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ﾗﾝｸ 備考
Mask cleaning unit:SP28P-DH
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
1956C2M0000
10-E
UNIT NUMBER
ユニットＮｏ.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
− −101 14 0004−（ ）
1 KXF00X6AA00 REGULATOR AR1000-M5B-X507 1
2 KXF02SZAA00 ELBOW M-5ALU-4 2
3 KXF00Y7AA00 SPEED-CONTROLLER AS1000-M5 1
4 KXF02TKAA00 NIPPLE M-5UN 2
5 KXF0DZHTA00 BAND VE36 3
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
NO
番号
ＭＯ機番
ユニット名称
ﾏｽｸｸﾘｰﾆﾝｸﾞﾕﾆｯﾄ:SP28P-DH
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ﾗﾝｸ 備考
Mask cleaning unit:SP28P-DH
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
1956C2M0000
10-F
UNIT NUMBER
ユニットＮｏ.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
− −103 16 0001−（ ）