SP28P-DH - 第131页
1 1956C262040 BRACKET 1 2 KXF02CSAA00 JOINT KQP-08 3 3 KXF0977AA00 SOCKET CPS15M-8B 3 4 KXF09Y3AA00 JOINT CPP15-8B 3 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 NO 番号 MO機番 ユニット名称 マスククリーニングユニ…


1 1956C262040 BRACKET 1
2 KXF02CSAA00 JOINT KQP-08 3
3 KXF0977AA00 SOCKET CPS15M-8B 3
4 KXF09Y3AA00 JOINT CPP15-8B 3
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
NO
番号
MO機番
ユニット名称
マスククリーニングユニット:SP28P-DH
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ランク 備考
Mask cleaning unit:SP28P-DH
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
1956C2M0000
10-G
UNIT NUMBER
ユニットNo.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
− −105 18 0000−( )
