SP28P-DH - 第95页
1 150ZC111032 BRACKET 1 2 150ZC111042 BRACKET 1 3 150ZC111060 GUIDE 1 4 150ZC111172 GUIDE 1 5 150ZC111180 PUSHER 1 6 150ZC161010 STOPPER 1 7 150ZC161020 GUIDE 1 8 9 KXF07U2AA00 SPRING DC586 2 10 KXF098LAA00 PH-SENSOR PM2…


1 150ZC111032 BRACKET 1
2 150ZC111042 BRACKET 1
3 150ZC111060 GUIDE 1
4 150ZC111172 GUIDE 1
5 150ZC111180 PUSHER 1
6 150ZC161010 STOPPER 1
7 150ZC161020 GUIDE 1
8
9 KXF07U2AA00 SPRING DC586 2
10 KXF098LAA00 PH-SENSOR PM2-LF10-C1 1 A
11 KXF07UKAA00 SPACER BSF-480 1
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
NO
番号
MO機番
ユニット名称
ユニバーサルマスクホルダ:SP28P-DH
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ランク 備考
Universal mask holder:SP28P-DH
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
150ZC1M0000
8-B
UNIT NUMBER
ユニットNo.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
− −74 05 0001−( )
