SP28P-DH - 第96页
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1 150ZC111032 BRACKET 1
2 150ZC111042 BRACKET 1
3 150ZC111060 GUIDE 1
4 150ZC111172 GUIDE 1
5 150ZC111180 PUSHER 1
6 150ZC161010 STOPPER 1
7 150ZC161020 GUIDE 1
8
9 KXF07U2AA00 SPRING DC586 2
10 KXF098LAA00 PH-SENSOR PM2-LF10-C1 1 A
11 KXF07UKAA00 SPACER BSF-480 1
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NO
番号
ＭＯ機番
ユニット名称
ﾕﾆﾊﾞｰｻﾙﾏｽｸﾎﾙﾀﾞ:SP28P-DH
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ﾗﾝｸ 備考
Universal mask holder:SP28P-DH
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
150ZC1M0000
8-B
UNIT NUMBER
ユニットＮｏ.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
− −74 05 0001−（ ）
1 150ZC161030 COVER 1
2 KXF08UAAA00 VALVE VZM550-01-34B 1
3 KXF00W9AA00 SILENCER AN103-01 2
4 KXF02BPAA00 JOINT KQL04-01S 2
5 KXF00ZEAA00 SPEED-CONTROLLER AS2211F-01-04S 1
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NO
番号
ＭＯ機番
ユニット名称
ﾕﾆﾊﾞｰｻﾙﾏｽｸﾎﾙﾀﾞ:SP28P-DH
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ﾗﾝｸ 備考
Universal mask holder:SP28P-DH
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
150ZC1M0000
8-C
UNIT NUMBER
ユニットＮｏ.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
− −76 07 0000−（ ）