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제 3 장 정 기적 인 유지 보수 항 목 목차 1 . 매주 3- 1 1 . 1 노즐의 점검과 청소 3- 1 1 . 1 . 1 노 즐 탄 성 력의 확인 3- 1 1 . 1 .2 노 즐 스프 링 의 청 소와 급유 3- 2 1 . 1 .3 노 즐 판스프 링의 상태확인 3- 3 1 . 1 .4 노 즐 선 단부의 청소 3- 4 1 . 2 그리퍼 노즐 ( 옵 션 ) 의 청소 와 급유 3-6 1 .2. …
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2
3. 멀티 카메라 조명보호 글래스의 청소
멀티 카메라의 조명보호 글래스에 먼지가 묻어 있으면 , 부품인식 에러의 원인이 됩니다 . 이를 방지하기 위해서
정기적으로 점검과 청소를 실행하실 것을 권장합니다 .
e
1
조명 보호 글래스상의 먼지를 털어냅니
다.
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를
오픈합니다 .
2. 블로워 브러시로 조명 보호 글래스상의 먼지를
털어냅니다 .
57203-L1-00
참고
블로워 브러시는 옵션 구입품입니다.
2
조명 보호 글래스를 닦습니다 .
와이퍼 또는 클리닝 페이퍼 등에 렌즈 클리너를
몇 방울 묻혀서 보호 글래스를 닦아 주십시오 .
5720 4 -L1- 0 0
n
요점
와이퍼는 먼지가 나지 않는 것을 사용하여 주십시오 .
렌즈 클리너와 클리닝 페이퍼는 옵션 구입품입니다.
c
주의
렌즈 클리너 이외의 용제 (IPA, 아세톤 ) 는 사용하지 마십시
오.
블로워 브러시로 먼지를 털어낸다
Step 1
블로워 브러시
와이퍼로 보호 글래스를 닦는다
Step 2
먼지가 나지 않는 닦기용 와이퍼
제 3 장 정기적인 유지보수 항목
목차
1. 매주 3-1
1.1 노즐의 점검과 청소 3-1
1.1.1 노즐 탄성력의 확인 3-1
1.1.2 노즐 스프링의 청소와 급유 3-2
1.1.3 노즐 판스프링의 상태확인 3-3
1.1.4 노즐 선단부의 청소 3-4
1.2 그리퍼 노즐 ( 옵션 ) 의 청소와 급유 3-6
1.2.1 그리퍼 노즐의 점검 3-6
1.2.2 그리퍼 노즐의 청소와 급유 3-6
1.3 컨베이어 센서의 상태와 동작확인 3-8
1.4 기판 클램프의 상태와 동작확인 3-9
1.4.1 기판 클램프의 상태 확인 3-9
1.4.2 기판 클램프의 동작 확인 3-9
2. 매월 3-10
2.1 노즐 에어경로의 청소 3-10
2.2 FNC 노즐의 청소 3-11
2.2.1 FNC 노즐 ASSY 의 분해 3-11
2.2.2 FNC 노즐 ASSY 의 분해청소 3-13
2.2.3 FNC 로케이트 핀의 청소 3-17
2.2.4 FNC 노즐 ASSY 의 장착 3-18
2.3 각 축의 볼스크류 및 가이드의 점검 3-21
3. 2 개월 3-22
3.1 X, Y 축의 청소와 급유 3-22
3.1.1 X, Y 축 볼스크류의 청소와 급유 3-22
3.1.2 X, Y 축 가이드의 청소와 급유 3-24
3.2 PU 축의 청소와 급유 3-25
3.3 기판 반송부의 점검 3-27
3.3.1 컨베이어 벨트의 점검과 청소 3-27
4. 3 개월 3-31
4.1 이젝터 필터의 청소와 교환 3-31
4.2 이젝터 진공압력의 점검 3-32
4.3
각 헤드의 블로우 밸브와 청소용 블로우 밸브의 동작확인 3-33
4.4 스플라인 샤프트 3-35
4.4.1 스플라인 샤프트 내부의 세정 3-35
4.4.2 부압 상태의 확인 3-37
4.4.3 스플라인 샤프트의 Z 축 동작확인 3-37
4.4.4 스플라인 샤프트 주변의 확인과 청소 3-38
4.4.5 스플라인 샤프트의 급유 ( 필요시에만 ) 3-39
4.5 에어 / 미스트 필터의 점검과 교환 3-40
5. 6 개월 3-42
5.1 피듀셜 카메라의 청소 3-42
5.2 W 축의 청소와 급유 3-43
5.3 사이드뷰 카메라의 청소 ( 옵션 ) 3-45
6. 1 년 3-46
6.1 블로우 스테이션 필터의 청소와 교환 3-46
6.2 노즐스테이션 센서의 상태확인 ( 옵션 ) 3-47