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4.4 스 플라인 샤프 트 3- 35 4. 4 . 1 스플 라인 샤프트 내 부 의 세 정 3- 35 4. 4 .2 부 압 상태 의 확인 3- 37 4. 4 .3 스플 라인 샤프트의 Z 축 동작확인 3- 37 4. 4 . 4 스플 라인 샤프트 주변 의 확인과 청 소 3- 38 4. 4 .5 스플 라인 샤프트의 급유 ( 필 요시에 만 ) 3- 39 4.5 에어 / 미스 트 필터의 점검과 교환 3…
제 3 장 정기적인 유지보수 항목
목차
1. 매주 3-1
1.1 노즐의 점검과 청소 3-1
1.1.1 노즐 탄성력의 확인 3-1
1.1.2 노즐 스프링의 청소와 급유 3-2
1.1.3 노즐 판스프링의 상태확인 3-3
1.1.4 노즐 선단부의 청소 3-4
1.2 그리퍼 노즐 ( 옵션 ) 의 청소와 급유 3-6
1.2.1 그리퍼 노즐의 점검 3-6
1.2.2 그리퍼 노즐의 청소와 급유 3-6
1.3 컨베이어 센서의 상태와 동작확인 3-8
1.4 기판 클램프의 상태와 동작확인 3-9
1.4.1 기판 클램프의 상태 확인 3-9
1.4.2 기판 클램프의 동작 확인 3-9
2. 매월 3-10
2.1 노즐 에어경로의 청소 3-10
2.2 FNC 노즐의 청소 3-11
2.2.1 FNC 노즐 ASSY 의 분해 3-11
2.2.2 FNC 노즐 ASSY 의 분해청소 3-13
2.2.3 FNC 로케이트 핀의 청소 3-17
2.2.4 FNC 노즐 ASSY 의 장착 3-18
2.3 각 축의 볼스크류 및 가이드의 점검 3-21
3. 2 개월 3-22
3.1 X, Y 축의 청소와 급유 3-22
3.1.1 X, Y 축 볼스크류의 청소와 급유 3-22
3.1.2 X, Y 축 가이드의 청소와 급유 3-24
3.2 PU 축의 청소와 급유 3-25
3.3 기판 반송부의 점검 3-27
3.3.1 컨베이어 벨트의 점검과 청소 3-27
4. 3 개월 3-31
4.1 이젝터 필터의 청소와 교환 3-31
4.2 이젝터 진공압력의 점검 3-32
4.3
각 헤드의 블로우 밸브와 청소용 블로우 밸브의 동작확인 3-33
4.4 스플라인 샤프트 3-35
4.4.1 스플라인 샤프트 내부의 세정 3-35
4.4.2 부압 상태의 확인 3-37
4.4.3 스플라인 샤프트의 Z 축 동작확인 3-37
4.4.4 스플라인 샤프트 주변의 확인과 청소 3-38
4.4.5 스플라인 샤프트의 급유 ( 필요시에만 ) 3-39
4.5 에어 / 미스트 필터의 점검과 교환 3-40
5. 6 개월 3-42
5.1 피듀셜 카메라의 청소 3-42
5.2 W 축의 청소와 급유 3-43
5.3 사이드뷰 카메라의 청소 ( 옵션 ) 3-45
6. 1 년 3-46
6.1 블로우 스테이션 필터의 청소와 교환 3-46
6.2 노즐스테이션 센서의 상태확인 ( 옵션 ) 3-47
3-1
3
1. 매주
여기에서는 매주 실행하는 점검과 청소 방법을 중심으로 설명합니다 .
1.1 노즐의 점검과 청소
노즐의 탄성력(복원력 ) 불량이나 노즐 판스프링의 불량은 흡착에러의 원인이 됩니다. 이를 방지하기 위해
각 노즐의 점검과 청소를 실시해 주십시오 .
1.1.1 노즐 탄성력의 확인
다음과 같이 노즐 선단의 탄성력을 확인합니다. 노즐의 선단을 눌러봐서 정상적으로 돌아오면 문제가 없습니다
만 , 복귀 동작이 나쁘면 흡착에러와 인식에러 등이 발생합니다.
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주의
노즐의 선단부를 눌러서 확인할 때에는 , 너무 세게 누르지 마십시오 . 1mm 정도 눌러서 원상태로 돌아오면 문제 없습니다 .
OK NG
노즐의 탄성력 확인
노즐선단을 손가락으로 누른다
제자리로 돌아온다
복원 동작이 나쁘다
복원되지 않는다
57300-L1-00