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3-24 3 3. 1 .2 X, Y 축 가 이드의 청소와 급 유 e 1 작 업 준비를 합니다 . 1 . 비상정 지 버 튼을 누 르고 , 장비의 안전커버 를 오픈합 니다 . 2. 대 차 사양의 경우는 , 대차를 탈착합니 다 . 2 가이드를 청소합니다 . 1 . 각 축 을 한쪽 으로 이동 시 키 고 나서 , 가 이 드 전체 를 먼지 가 나 지 않는 종이 와이퍼 ( 크 린 룸 용 ) 로 닦습니 다…

3-23
3
3
볼스크류부를 청소합니다 .
1. 이동핸들을 잡아서 각 축을 한쪽으로 이동시킵
니다 .
2. 볼스크류 전체를 먼지가 나지 않는 종이 와이
퍼 ( 크린룸용 ) 로 오래된 구리스와 더러움을
닦습니다 .
3. 축을 반대쪽으로 이동시켜서 , 반대쪽의 볼스
크류도 닦습니다 . (X 축 , Y 축 )
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n
요점
청소 작업시에는 볼스크류의 리드홈 부분도 정성껏 닦아 주십
시오 . 또한 , 이물질의 부착 여부도 확인해 주십시오 .
4
구리스를 주입합니다 .
X 축 , Y 축
구리스건을 준비하고 , 구리스 니플로부터 지정
구리스 (NSL) 를 주입합니다 . 축을 손으로 움
직인 후 , 여분의 구리스를 닦아 주십시오 .
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n
요점
X 축 볼스크류의 급유에는 굽은타입 노즐을 사용하며 ,
Y 축 볼스크류의 급유에는 플렉시블 타입 노즐을 사용합니다.
5
커버를 원상태로 장착합니다 .
볼스크류 커버를 탈착했을 때와 반대순으로 장착
해 주십시오 .
Step 3
볼스크류의 청소
X축 볼스크류
Y축 볼스크류
Step 4
볼스크류의 구리스 주입
구리스 니플
X축
Y축
구리스건 (굽은타입 노즐)
구리스건 (플렉시블 타입 노즐)

3-24
3
3.1.2 X, Y 축 가이드의 청소와 급유
e
1
작업 준비를 합니다 .
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를
오픈합니다 .
2. 대차 사양의 경우는 , 대차를 탈착합니다 .
2
가이드를 청소합니다 .
1. 각 축을 한쪽으로 이동시키고 나서 , 가이드
전체를 먼지가 나지 않는 종이 와이퍼 ( 크린룸
용 ) 로 닦습니다 .
2. 그 다음에 , 축을 반대쪽으로 이동시켜서 ,
반대쪽의 가이드도 닦습니다 .
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n
요점
가이드 레일의 이동홈 부분도 정성껏 닦아 주십시오 .
3
구리스를 도포합니다 .
X축
구리스건에 굽은타입 노즐을 세팅해서 , X 축
가이드용 구리스 니플로 부터 지정 구리스 (NSL)
를 주입합니다 .
구리스 니플은 , 헤드부 뒷면의 좌우에 2 개씩
( 상하의 가이드의 위치 ) 있습니다 .( 합계 4 군데 )
Y1, Y2 축
구리스건에 표준타입 노즐을 세팅해서 , Y 축
가이드용 구리스 니플로 부터 지정 구리스 (NSL)
를 주입합니다 .
구리스 니플은 , 각 Y 축 가이드의 슬라이더 전후
에 있습니다 . ( 합계 4 군데 )
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4
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
손으로 축을 수차례 이동시킨 후 , 여분의 구리스
를 닦아냅니다 .
Step 2
가이드의 청소
가이드레일 종이 와이퍼
Step 3
Y축가이드
구리스건
구리스건X축가이드
가이드의 구리스 주입
구리스 니플

3-25
3
3.2 PU 축의 청소와 급유
PU( 푸쉬업 ) 축은, 기판 클램프시 기판휨을 방지하는 역할과 부품 탑재시에 기판의 눌림을 방지하는 중요한
축이 됩니다 .
또한 , 부품 탑재시에 기판의 눌림에 의한 탑재 정밀도의 틀어짐을 방지하는 역할도 있으므로 , 정상적으로 기능
하도록 정기적으로 청소하고 급유해 주십시오 .
c
주의
PU 축에 트러블이 발생한 경우에는 판매대리점 또는 야마하로 연락해 주십시오 . 자체적인 분해 청소는 보장해 드릴 수 없습니다 .
1
컨베이어폭을 최대폭으로 설정합니다 .
1. [ 장치 ]-[ 컨베이어폭 ] 버튼을 눌러서
「컨베이어폭」화면을 표시합니다 .
2. 「변경후의 컨베이어폭」에 최대폭을 입력하고
[OK] 버튼을 눌러 주십시오 .
컨베이어가 지정된 폭으로 변경됩니다 .
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참고
컨베이어의 최대폭은 , 표준 사양으로 460mm 또는 , 410mm
입니다 .
2
푸쉬업 유니트를 상승시킵니다 .
1. [ 푸쉬업 ] 버튼을 눌러서 ,「컨베이어 푸쉬업」
화면을 표시합니다 .
2. 「두께」란에「0.1mm」를 입력하고 , [OK] 버
튼을 눌러 주십시오 . 푸쉬업 유니트가 상승합
니다 .
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3
푸쉬업 플레이트를 탈착합니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를
오픈합니다 .
2. 대차 사양의 경우에는 , 대차를 탈착합니다 .
3. 푸쉬업 플레이트의 고정볼트 (4 군데 ) 를 육각
렌치로 분리하고 , 푸쉬업 플레이트를 탈착해
주십시오 .
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c
주의
푸쉬업 플레이트는 무거우므로 , 취급시에는 충분히 주의해
주십시오 .
4
오래된 구리스를 제거합니다 .
볼스크류 (2 개 ) 와 볼가이드 (2 개 ) 의 오래된 구
리스를 먼지가 나지 않는 종이 와이퍼 등으로 깨끗
하게 제거해 주십시오 .
컨베이어 폭의 변경
Step 1
[컨베이어 폭] 버튼 컨베이어의 최대폭을 입력
Step 2
푸쉬업 유니트의 상승
[푸쉬업] 버튼 「0.1mm」 를 입력
푸쉬업 플레이트의 탈착
Step3
푸쉬업 플레이트