CX-1_故障检修 - 第39页
故障检修 记录工具 3-22 E054003 MTC 补充状态。 [原因] 因为 MTC 为补充(元件更换)状态，所以不能控制。 [解决] 请把 MTC 转换为通常状态。 E054011 没有打开 MTS 电源。 [原因] 打算拽出 MTS 托盘，但此时没有打开 MTS 电源。 [解决] 请打开 MTS 电源。 E054012 MTS 处于脱机状态。 [原因] 打算拽出 MTS 托盘，但此时 MTS 为脱机状态。 [解决] 请连接 MT…
故障检修 记录工具
3-21
传送初始化发生错误。
[解决]
重新启动系统，确认是否运行正常。
E051009 没有完成基板宽度的返回原点，请执行返回原点后再运行。
[原因]
没有完成基板宽度的返回原点。
[解决]
请运行基板宽度调整的初始化后，再试一次。
E051010 发现搬运轨道上存在基板。
[原因]
传送通道上有基板，不能运行[自动调整基板宽度]时，显示此信息。
[解决]
请取下基板后，重新运行。
Q052001 没有执行返回原点，是否进行返回原点？
[原因]
未完成原点返回，是否执行原点返回的询问。
[解决]
若选择[是]，则执行原点返回后继续处理。
若选择[否]，则不执行原点返回后继续处理。
Q052002 正在运行中心传送设备。若执行，就会冲突，是否中断？
[原因]
在中心传送设备的运行中，接收到有关支撑台的动作指示。此时为了询问处理的中断而显示此信息。
[解决]
若单击[是]，继续处理。
若单击[否]，中断处理。
Q052003 正在上升支撑台。若执行，就会冲突，是否中断？
[原因]
支撑台上升中，接收到有关传送设备的动作指示。此时为了询问处理的中断而显示此信息。
[解决]
若单击[是]，继续处理。
若单击[否]，中断处理。
I053001 请取下传送轨道上的基板。
[原因]
运行[自动调整基板宽度]时，检测到传送轨道上的基板。
[解决]
请取下基板。
I053002 请连接 MTC。
[原因]
示教设置 MTC 滑梭吸取位置时，打算拽出 MTC 滑梭，但此时 MTC 为脱机状态。
[解决]
请连接 MTC。
I053003 请连接 MTS。
[原因]
打算拽出 MTS 托盘，但此时 MTS 为脱机状态。
[解决]
请连接 MTS。
I053004 请关闭 MTS 机箱门。
[原因]
打算拽出 MTS 托盘，但此时 MTS 机箱门被开着。
[解决]
请关闭 MTS 机箱门。
E054001 没有打开 MTC 电源。
[原因]
示教设置 MTC 滑梭吸取位置时，打算拽出 MTC 滑梭，但此时没有打开 MTC 电源。
[解决]
请打开 MTC 电源。
E054002 MTC 处于脱机状态。
[原因]
示教设置 MTC 滑梭吸取位置时，打算拽出 MTC 滑梭，但此时 MTC 为脱机状态。
[解决]
请连接 MTC。
故障检修 记录工具
3-22
E054003 MTC 补充状态。
[原因]
因为 MTC 为补充(元件更换)状态，所以不能控制。
[解决]
请把 MTC 转换为通常状态。
E054011 没有打开 MTS 电源。
[原因]
打算拽出 MTS 托盘，但此时没有打开 MTS 电源。
[解决]
请打开 MTS 电源。
E054012 MTS 处于脱机状态。
[原因]
打算拽出 MTS 托盘，但此时 MTS 为脱机状态。
[解决]
请连接 MTS。
E054013 主机盖被打开时，MTS 不能工作。
[原因]
打算拽出 MTS 托盘，但此时没有关上主机的安全盖。
[解决]
请关闭主机的安全盖。
E054014 MTS 机箱门被打开。
[原因]
打算拽出 MTS 托盘，但此时没有关上 MTS 机箱门。
[解决]
请关闭 MTS 机箱门。
E054015 指定阶层托盘存储箱不存在。
[原因]
打算拽出 MTS 托盘，但此时指定层上的某托盘存储箱不在。
[解决]
请安装指定层上缺少的存储箱。
E054016 MTS 处于补充状态。
[原因]
MTS 为补充(元件更换)状态，不能控制。
[解决]
请把 MTS 转换为通常状态。
E061001 输入文字中有非法字符。
[原因]
存在非法字符。
[解决]
请输入正确的字符。
E061002 输入值超过输入范围。(输入范围:？～？)
[原因]
输入值超过输入范围。
？～？: 输入范围
[解决]
请输入有效范围内的值。
E061003 输入值超过输入范围。
[原因]
输入值超过输入范围。
[解决]
请输入有效范围内的值。
E061004 被选设备不能移到目标位置。请重新选择其它设备。
[原因]
因为 HOD 选择的设备不能移到目标位置，所以不能进入示教状态。
[解决]
请重新选择可移动设备。
E061005 被选设备尚未安装。请重新选择其它设备。
[原因]
因为 HOD 选择的设备没有被安装，所以不能进入示教状态。
[解决]
请选择安装好的设备。
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E061006 被选设备是未使用设备。请重新选择别的设备。
[原因]
因为 HOD 选择的设备是未使用(在机器设置的单元设置中，设定为未使用)设备，所以不能进入示教状态。
[解决]
请选择可用的设备。
E061007 检查吸嘴是否存在时，发生错误。错误代码:?
[原因]
激光测量(ONCE)发生错误。
? : 错误代码
-1 : 通讯错误
[解决]
请参考手动控制的[激光控制]内的[状态一览]。
W061010 示教数据无效。
[原因]
以 HMS 取得 Z 轴坐标时，若 Z 轴坐标处于测量范围外的错误时(示教对话框的 Z 上显示"---"符号时)，
即使按 HOD 上的回车键，也不能获得坐标。示教时发生其它错误也同样不能取得坐标。
[解决]
请检查用 HMS 取得 Z 轴坐标时，Z 轴的坐标是否在测量范围内。
W061012 ACT 上没有此吸嘴。请在机器设置中分配此吸嘴。
[原因]
虽然选择了 ATC 控制的吸嘴交换，但 ATC 上连一个吸嘴也没有分配。
[解决]
在机器设置的 ATC 吸嘴分配上，给 ATC 分配吸嘴。
W061013 Head 上没有装配吸嘴。
[原因]
虽然选择了 ATC 控制的吸嘴归还，但指定的 Head 上无吸嘴。
[解决]
给 Head 安装吸嘴后，继续执行。
Q062001 有些单元的状态变成 ON，是否要初始化？
[原因]
执行传送控制的时候，如果在传送通道上检测到有可能成为传送障碍的驱动单元，就询问是否要进行初
始化。
[解决]
如果单击[是]，将初始化该单元后继续执行处理。
如果单击[否]，不理该单元并继续执行处理。
Q062002 请检查一下支撑台是否已台升。如果没有被台升，就不好辨认。是否继续？
[原因]
示教基准针位置时，检查支撑台的上升后，询问是否继续进行处理。
[解决]
若单击[是]，则继续处理。
若单击[否]，则停止处理。
Q062003 不能归还元件，是否废弃元件？
[原因]
把吸嘴归还给 ATC 的时候，检测到吸嘴上的元件。因为不清楚元件的吸取位置，不能归还元件。此时，
询问是否废弃元件。
[解决]
如果单击[是]，将元件扔到废弃位置上。
如果单击[否]，将移到取吸嘴的 Head 等待位置，要求取下元件。
Q062004 是否停止处理？
[原因]
＜STOP＞开关被按下的时候，询问是否停止处理。
[解决]
若单击[是]，则停止处理。
若单击[否]，则继续处理。
I063000 请取下？上的元件。
[原因]
因为吸嘴上有元件等东西存在，所以不能放回 ATC。
[解决]
请手动取下？Head 上的元件。