CX-1_故障检修 - 第398页
故障检修 记录工具 3-381 3-3 共面检测错误的详细情况 １．ＶＣＳ监视器共面检测错误的详细表示 用共面检测传感器测量元件的结果，显示在本体监视器以外还在 VCS 监视器上被显示。 如下图，测量正常结束和发生错误。 ■正常测量时 ■发生错误时 COPLA_OK MJG 、 FABS COPLA_ERROR: 1 ＿ 3080
故障检修 记录工具
3-380
１１．铝电解电容器／ＧａＡｓＦＥＴ识别错误的详细情况
‘ＲＥＳ Ｍ Ｎ Ｔｙｐｅ Ｉｎｄｅｘ ＥｒｒＣｏｄｅ ……’
Ｍ：同时识别的个数
Ｎ：同时识别的阶段号码
Ｔｙｐｅ：元件类型
TER ２（铝电解电容器）、TER4（GaAsFET）
Ｉｎｄｅｘ：元件的识别号码
错误
代码
…… 错误内容 推定错误原因
４ Side 没有检测到引脚。 ・ 因 VCS 的污垢等原因，不能正确设置检测引脚的 Window
时发生。
・ 图象数据的设置错误（引脚长度）
※判定正常引脚的规则为其长度的±30％
７ Side 引脚幅度异常。 ・ 图象数据的设置错误（引脚幅度）。
※判定正常引脚的规则为其幅度的±20％
12 外形尺寸异常。 ・ 图象数据的设置错误（外形尺寸）。
※判定正常外形尺寸的规则为其大小的 50～130％
Side:检测到错误的边(0:上边 1:下边 2:左边 3:右边)
RES 1 1 TER ２ 0 １ 2
错误内容：ID「０」的铝电解电容器外形尺寸异常。
例
故障检修 记录工具
3-381
3-3 共面检测错误的详细情况
１．ＶＣＳ监视器共面检测错误的详细表示
用共面检测传感器测量元件的结果，显示在本体监视器以外还在 VCS 监视器上被显示。
如下图，测量正常结束和发生错误。
■正常测量时
■发生错误时
COPLA_OK
MJG、FABS
COPLA_ERROR:1＿3080
故障检修 记录工具
3-382
２．共面检测错误的详细情况
ＭＪＧ 错误
共面错误： 错误代码
错误 错误
代码
错误内容 发生错误原因
21‐1000 软件运行环境异常
15－1010 PC 内存异常
17－1060 传感器 Head 内部激光二极管异常
20－1070 信号处理端口内部内存异常
如果关闭电源后重新启动系统也解决不了问题
时,考虑为传感器故障。
18－1080 传感器电缆未连接 能考虑为共面用传感器电缆
※１
的接触不良。请
关闭电源后重新启动系统。
19－1090 传感器 Head 内部扫描仪运转状态
不正常
・ 没有供给传感器 Head 的直流 24V 直流电流。
・ 传感器扫描仪停止运转。
如果以上两种都没有问题，但重新启动系统也
不能恢复正常时，能考虑为传感器的故障。
FSYS
17－1100 激光熄灯
能考虑为共面用传感器电缆
※１
的接触不良。
12－2010 在传感器高度调整中,接受不正当
指令。
能考虑为共面 232C 电缆
※2
的接触不良。
12－2030 发送指令时的鉴别器不正当 ・ 机器软件故障。
12－2040 执行测量后 10 秒以内没能识别出
测量开始信号
・ 共面 I/F 电缆
※３
的接触不良。
・ 从 XMP 转播基板没有输出编码器脉冲。
・ 能考虑为传送续电器基板没有输出任何开始
触发信号。
12－2050 发送不正当指令
输入范围外的参数设定
・ 机器软件故障。
12－2060 没有注册元件信息
没有要测量的图像
・ 机器软件故障。
（没有结束测量之前传感器发送其他的指令）
FOPE
12－2070 不恰当的测量模式被选择
・ 测量模式不恰当。请检查元件和测量模式是
否一致。
FCOP 1－3000 共面检测值超过判定有效值 ・ 不是故障。请用 VGA 切换器显示图像、或用
「操作选项」中的「错误时暂停」功能输出
详细信息来检查引起错误的端子。
FPOS 2－3010 端子位置偏移量超过判定有效值 ・ 测量中元件滑动时发生。
3－3020 ・ 测量图像时没有检测到象样的
端子（测量图像漆黑）
・ 超出测量范围的高度
・ 元件落下等没有吸取元件而要进行测量时，
发生的错误。
・ 能考虑为输错元件高度而引起的错误。
3－3030 元件图像超出测量图像框架 ・ 在移动中因元件滑动而不能正常测量。
・ 能考虑为输错元件外形尺寸而引起的错误。
3－3040 端子的存在位置对元件信息显著
地不同
・ 元件信息不同的时候发生。
3－3060 设置校正指令 ・ 能考虑为用 MSP 参数调整块规时，块规没有
被正确吸取时发生。
6－3110 元件离开传感器的距离超出测量
范围
・ 被输入的元件高度与实际元件高度不同时，
会发生此错误,请检查被输入的元件高度。
FNUM
7－3120 元件离开传感器的距离超出测量
范围
・ 被输入的元件高度超出实际元件高度时会发
生此错误,请检查被输入的元件高度。
FLIN 4－3070 平行测量值超出判定有效值 ・ 不是故障。请用 VGA 切换器显示图像、或用
「操作选项」中的「错误时暂停」功能输出
详细信息来检查引起错误的端子。