CX-1_故障检修 - 第76页
故障检修 记录工具 3-59 E290030 台架标记识别错误(MTS)，停止示教。 [原因] 因为没有识别到 MTS 的台架标记，所以不能进行示教。 [解决] 请进行台架标记识别。 E290031 输入值的大小超出输入范围。 [原因] 示教结果超出有效范围。 [解决] 请重新示教。 Q290500 在这个设备上不能移到指定坐标上。 [错误信息] 这个设备不能移到指定坐标上。从当前位置开始示教，请按[是]；停止，请按[否]。 [原因] …
故障检修 记录工具
3-58
[解决]
机器设置中，请把 DTS 设备设置为使用。
E290016 这个设备不能移到指定坐标上。
[原因]
因为 HOD 指定的设备，在于 Head 到不了的位置上。
[解决]
请使用别的设备进行示教。
E290017 检查模板数据合计出错。请再次示教修改。
[原因]
从图像基板取得模板数据时，发现数据内容有错。
[解决]
请重新示教。
E290020 没有打开 MTS 电源。
[原因]
要运行 MTS 时，没有打开 MTS 电源。
[解决]
请打开 MTS 电源。
E290021 MTS 处于紧急停止状态中。
[原因]
要运行 MTS 时，MTS 处于紧急停止状态。
[解决]
请解除 MTS 紧急停止状态。
E290022 MTS 没有完成初始化。
[原因]
要运行 MTS 时， MTS 还没有完成初始化。
[解决]
请用 MTS 的 HOD，进行初始化。
E290023 没有连接 MTS。
[原因]
要运行 MTS 时， MTS 不是联机状态。
[解决]
请用 MTS 的 HOD 连接 MTS（联机）。
E290024 MTS 托盘存储箱盖被打开。
[原因]
要运行 MTS 时，MTS 托盘存储箱盖已打开。
[解决]
请关闭 MTS 托盘存储箱盖。
E290025 MTS 处于补充状态。
[原因]
要运行 MTS 时，MTS 处于补充状态。
[解决]
请按一下 MTS 的补充状态开关，解除 MTS 的补充状态。
E290026 MTS 托盘存储箱不存在。
[原因]
要运行 MTS 时，发现没有装入 MTS 的托盘存储箱。
[解决]
请检查 MTS 的托盘存储箱。
E290027 MTS 取出托盘失败。
[原因]
要运行 MTS 时，MTS 取出托盘失败。
[解决]
请检查 MTS 的状态。
E290028 在设置中，MTS 装置没有被选用。
[原因]
机器设置中，MTS 被设置为[未使用]。
[解决]
机器设置中，请把 MTS 设置为[使用]。
E290029 模板数据传送发生错误。请再次进行示教修改。
[原因]
用示教建立模板数据，或传送，或取得失败。
[解决]
请再一次进行示教。
故障检修 记录工具
3-59
E290030 台架标记识别错误(MTS)，停止示教。
[原因]
因为没有识别到 MTS 的台架标记，所以不能进行示教。
[解决]
请进行台架标记识别。
E290031 输入值的大小超出输入范围。
[原因]
示教结果超出有效范围。
[解决]
请重新示教。
Q290500 在这个设备上不能移到指定坐标上。
[错误信息]
这个设备不能移到指定坐标上。从当前位置开始示教，请按[是]；停止，请按[否]。
[原因]
用 HOD 选择的设备是，不能移到早已设定的坐标上。因此，询问是否从当前位置开始进行示
教。
[解决]
继续，请单击[是]；停止，请单击[否]。
Q290501 运行示教操作，请注意安全。 执行，请按[是]；停止，请按[否]。
[原因]
因为将要开始移动轴，注意安全。
[解决]
继续，请单击[是]；停止，请单击[否]。
Q290502 不能运行坐标校正。 不考虑校正继续运行示教，请按[是]；停止，请按[否]。
[原因]
要准确示教坐标，必须进行坐标校正，但坐标校正中的标志识别已经失败几次。即使得不到
准确示教结果，也继续进行的询问。
[解决]
继续，请单击[是]；停止，请单击[否]。
Q290503 已经存在标记，是否覆盖保存？
[原因]
有以前注册的标记数据，询问是否要覆盖此数据。
[解决]
覆盖数据，请单击[是]；停止，请单击[否]。
E291000 因为正在运行传送操作，所以不能执行。
[原因]
正在进行传送。
[解决]
等它结束后，在执行。
E291001 没有执行原点返回。 请执行原点返回后，再次操作。
[原因]
尚未进行原点返回。
[解决]
请按＜ORIGIN＞按钮执行原点返回后，再次运行。
E291002 轴不能移到等待位置。停止运行。
[原因]
轴不能移到等待位置。
[解决]
请用手动控制等操作，检查轴能不能正常活动。
E291003 不能执行传送。 停止运行。
[原因]
因不明理由而不能进行传送操作。
[解决]
请用手动控制等操作，检查传送能不能正常进行。
E291004 传送超过时间。停止运行。
[原因]
基板传送超时。
[解决]
请用手动控制等操作，检查传送能不能正常进行。
E291005 轴不能移动。停止运行。
[原因]
轴不能移动。
[解决]
故障检修 记录工具
3-60
请用手动控制等操作，检查轴能不能正常活动。
E291006 没有设置 BOC 标记数据。停止运行。
[原因]
基板数据中没有设定 BOC 标记，或基板数据不完整。
[解决]
请设置基板数据。
E291007 在设置中，OCC 装置没有被选用。
[原因]
在机器设置->使用单元的设置中，未选用 OCC 装置。
[解决]
如果能用 OCC，请在机器设置->使用单元设置中选用 OCC 装置。
如果不能用 OCC，就不能执行此操作。
E291008 设置数据有差错。
[原因]
输入的数据不正确。
[解决]
请检查输入值。
E291009 设置数据超出范围。
[原因]
输入的数据超出输入范围。
[解决]
请输入有效值。
E291010 因超过传送余宽允许范围，不能进行操作。
[原因]
因为传送通道的余宽超过-5.0mm，+5.00mm 的范围, 所以不能进行操作。
[解决]
请用摇把调整传送幅宽，余宽调到允许范围之内。
E291011 不能移动传送幅宽。
[原因]
因某些原因，不能调整传送宽度。
[解决]
请检查基板传送通道的状态。
E291012 识别 BOC 标记发生错误 [ 电路号 : %d ／ %d 点 ]
[原因]
识别 BOC 标记发生错误。
[解决]
请检查 BOC 标记数据和标记数据坐标。
E291013 检测到范围传感器,结束运行。
[原因]
检测到范围传感器，强制停止运行。
[解决]
请解除范围传感器检测到的错误原因后，执行返回原点。
E291014 紧急停止状态，结束运行。
[原因]
因为处于紧急停止状态，强制停止运行。
[解决.]
请释放<紧急停止>，执行返回原点。
E291015 入口缓冲处存在基板。 搬出入口处基板后，再次执行。
[原因]
因为入口侧缓冲区上有基板，所以不能装载基板。
[解决]
请搬出入口侧缓冲区的基板后，再次运行。
E291016 在这个设备中不能移到指定的坐标。
[原因]
因为出口侧缓冲区上有基板，所以不能装载基板。
[解决]
请搬出出口侧缓冲区的基板后，再次运行。
E291017 不存在已经完成的吸取数据。
[原因]
因为没有已经完成的吸取数据，不能进行处理。
[解决]
请输入吸取数据。