CX-1_故障检修 - 第80页

故障检修 记录工具 3-63 因按下<STOP>按钮,所以停止运行。 [解决] 要继续,请单击[是];要停止,请单击[否]。 Q291502 执行 BOC 校准,请注意安全。 执行,请按[是];停止,请按[否]。 [原因] 将移动轴,提醒安全。 [解决] 要继续,请单击[是];要停止,请单击[否]。 Q291503 执行 BOC 校准,请注意安全。 执行,请按[是];停止,请按[否]。 [原因] 将移动轴,提醒安全。 [解决] 要继续,…

100%1 / 403
故障检修 记录工具
3-62
E291030 没有连接 MTC。
[原因]
要运行 MTC 时, MTC 不是联机状态。
[解决]
请用 MTC HOD 连接 MTC(联机)。
E291031 MTC 未初始化。
[原因]
要运行 MTC 时,没执行 MTC 初始化。
[解决]
请用 MTC HOD,执行 MTC 的初始化。
E291032 MTC 处于补充状态。
[原因]
要运行 MTC 时,MTC 处于补充状态。
[解决]
请按一下 MTC 的补充按钮,解除 MTC 补充状态。
E291033 MTC 传送没有进行初始化。
[原因]
要运行 MTC 自动调整宽度时,发现没有运行 MTC 的传送初始化。
[解决]
请用 MTC HOD,运行传送初始化。
E291034 MTC 处于紧急停止状态。
[原因]
要运行 MTC 时,MTC 处于紧急停止状态。
[解决]
请解除 MTC 紧急停止状态。
E291035 未输入基板数据。
[原因]
因基板数据不完整,所以不能执行 BOC 校准。
[解决]
请完成基板数据。
E291036 在设置中,共面检测器没有被选用。
[原因]
在机器设置中,没有选用共面检测。
[解决]
在机器设置中,请选择共面检测。
E291037 未设置坏板标记数据,停止执行。
[原因]
基板数据中,坏板标记种类设置为不使用。
[解决]
请在基板数据中,选择坏板标记种类。
E291038 在设置中,坏板标记传感器没有被选用。
[原因]
机器设置中,坏板标记数据设置为不使用。
[解决]
在机器设置中,请把坏板标记数据设置为[使用]。
E291039 因为没有运行优化,所以不清楚同时吸取 Head。请运行优化。
[原因]
因为优化中确定同时吸取的 Head,因此检查同时吸取范围时,必须先进行优化。
[解决]
运行同时吸取范围检查之前,请先运行优化。
E291040 请检查运行模式。
[原因]
没有选择运行模式。
[解决]
请选择运行模式的[跟踪吸取位置],或[跟踪吸取高度]后,单击[执行]。
Q291500 识别 BOC 标记失败。 继续,请按[是];停止,请按[否]。
[原因]
图像处理设备(VCS)中,不能识别 BOC 标记。
[解决]
BOC 标记可能没有被正确示教。
Q291501 被用户中断。 继续,请按[是];停止,请按[否]。
[原因]
故障检修 记录工具
3-63
因按下<STOP>按钮,所以停止运行。
[解决]
要继续,请单击[是];要停止,请单击[否]。
Q291502 执行 BOC 校准,请注意安全。 执行,请按[是];停止,请按[否]。
[原因]
将移动轴,提醒安全。
[解决]
要继续,请单击[是];要停止,请单击[否]。
Q291503 执行 BOC 校准,请注意安全。 执行,请按[是];停止,请按[否]。
[原因]
将移动轴,提醒安全。
[解决]
要继续,请单击[是];要停止,请单击[否]。
Q291504 执行 BOC 校准,请注意安全。 执行,请按[是];停止,请按[否]。
[原因]
将移动轴,提醒安全。
[解决]
要继续,请单击[是];要停止,请单击[否]。
Q291505 轴往等待位置移动,请注意安全。 执行,请按[是];停止,请按[否]。
[原因]
将移动轴,提醒安全。
[解决]
要继续,请单击[是];要停止,请单击[否]。
Q291506 移动基板宽度,请取下基板和摇把之后开始运行。
[错误信息]
移动基板幅宽,请取下基板和摇把。执行,请按[是];停止,请按[否]。
[原因]
为了进行调整传送宽度,询问是否已清除传送轨道上的基板和摇把、是否已进行安全确认时
显示。
[解决]
要执行,请单击[是];要停止,请单击[否]。
Q291507 没有完成调整基板宽度的返回原点,是否执行返回原点并继续运行?
[错误信息]
没有结束调整基版宽度的返回原点。是否执行返回原点?执行前,请取下基板和摇把。 执行,请按[是];
停止,请按[否]。
[原因]
没有完成调整基板宽度的返回原点操作时,显示是否执行返回原点的询问。
[解决]
要执行,请单击[是];要停止,请单击[否]。
Q291508 是否也移动 MTC 装置的基板幅宽?执行,请按[是];停止,请按[否]。
[原因]
询问是否移动 MTC 的基板传送宽度。
[解决]
要移动请按 [是],否则请按 [否]。
I291509 请联机 MTC。
[原因]
要运行 MTC 时,MTC 不是联机状态。
[解决]
请用 MTC HOD,连接 MTC(联机)。
Q291510 移动基板宽度,真空台也被安装的状态,是否开始运行?
[错误信息]
虽然真空台已被安装,是否也移动基板幅宽?执行,请按[是];停止,请按[否]。
[原因]
真空台已被安装的状态下,询问是否要运行自动调整基板宽度时显示。
[解决]
如果运行请按[是],否则,请按[否]。
E292000 没有注册数据。
[原因]
标记数据库上的注册数据为 0 件时,却执行了一下操作。
1. 标记数据库管理画面中,单击[重新命名(C)]键或[删除(D)]键。
2. 标记数据库注册画面中,单击[覆盖注册(A)]键。
3. 图像复制画面中,单击[复制(C)]键。
[解决]
故障检修 记录工具
3-64
标记数据库上的注册数据为 0 件时,不能执行以上 1~3 的操作。
E292001 请选择标记。
[原因]
1. 在标记数据库管理画面上,尽管单击[重新命名(C)]键或[删除(D)]键,但没有选择目标标记。
2. 图像复制画面上,尽管单击[复制(C)]键,但没有选择目标标记。
[解决]
请选择目标标记。
E292002 注册数已满,不能再注册。
[原因]
因为标记数据库的注册数据已满(限制为 100 件),所以不能再注册新的数据。
[解决]
请在标记数据库管理画面上,删除无用的标记。
E292003 已经存在同样注册名的标记。
[原因]
已经存在同样注册名的标记
1. 在标记数据库管理画面中,单击[重新命名(C)]键显示标记数据名更改画面。在此画面上,输入的
“更改后的名”在数据库中已存在。
2. 标记数据库注册画面中,单击[新建(N)]或[覆盖注册(A)]键时,输入的“新名”在数据库中已存
在。
[解决]
请输入标记数据库中没有的名。
E292004 请输入注册名。
[原因]
请输入注册名
1. 数据库管理画面上,单击[重新命名(C)]键显示标记数据名更改画面。在此画面中单击[确定]键,
但没有输入“更改后的名”。
2. 标记数据库注册画面上,单击[新建(N)]或[覆盖注册(A)]键时,没有输入“注册名”。
[解决]
请输入标记名。
E292005 请选择注册区域。
[原因]
标记数据库注册画面上,单击[覆盖注册(A)]键时,没有选择要覆盖的标记。
[解决]
请选择要覆盖的标记。
E292006 被选标记的标记识别类型与基板数据上的设置不相同。
[原因]
识别类型被设置为多值识别时,要复制二值化标记数据的情况。
[解决]
请选择适当的标记数据。
E292007 标记类型跟设置的类型不相同。
[原因]
在标记类型有差异的领域中,打算复制标记数据
[解决]
请先删除标记数据,然后再复制标记数据。
Q292500 复制左右不同站台的标记数据,可是识别精度过低,是否继续?
[原因]
使用图像复制方法,把左侧站台上用标记示教来取得的数据复制到右侧站台时,会降低识别精度。
[解决]
要复制图像数据,请按[是],否则请按[否]。
Q292501 是否删除被选定的标记数据?
[原因]
在标记数据库管理画面上,单击[删除(D)]键时,显示确定画面。
[解决]
要删除标记,请单击[确定];要保留,请单击[取消]。
Q292502 已经存在同样注册名的标记,是否覆盖?
[原因]
输入的标记数据名,在数据库上有同名的标记数据名时,显示上述信息。
[解决]
在数据库上,要覆盖同名的标记数据时,请按[是],否则请按[否]。