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NPM-D 问题解答 1.2 错误信息一览 EJM1DC-MB-01T -00 Page 1-51 44009 基板信息通信错误 现象 基板信息的通信发生了错误。 原因 基板搬出时基板信息的移动等待发生了超时。 对策 1) 请确认传送带上的基板位置。 2) 请确认机器间的通信设定。 3) 确认异常发生时的状态请联系本公司。 44010 基板信息确认错误 现象 基板信息的确认发生了错误。 原因 基板搬送时不能进行基板信息的确认。 对策 1…
NPM-D
问题解答
1.2 错误信息一览
Page 1-50 EJM1DC-MB-01T-00
基板搬送错误
44000
基板搬入错误
现象
发生了基板搬入错误。
原因
基板搬送时超时。
对策
1)
请确认传送带上的基板和基板检出传感器的状态。
2)
请确认传送带的宽度。
44001
基板搬出错误
现象
发生了基板搬出错误。
原因
基板搬送时超时。
对策
1)
请确认传送带上的基板和基板检出传感器的状态。
2)
请确认传送带的宽度。
44002
基板搬出后传感器异常
现象
发生了基板搬出后传感器异常。
原因
基板搬出后停止位置传感器打开了。
对策
1)
请确认传送带上的基板和基板检出传感器的状态。
2)
请确认传送带的宽度。
44003
后工序要求
OFF
的超时错误
现象
发生了后工序要求关闭等待超时。
原因
基板排出后后工序机器的基板要求信号在设定时间内没有关闭。
对策
1)
请确认传送带上的基板和基板检出传感器的状态。
2)
请确认基板排出等待时间
(
要求关闭
)
的设定值。
44004
基板有错误
现象
基板搬入时检出有基板。
原因
基板搬入时基板停止位置传感器已经打开。
对策
请确认传送带上的基板和基板检出传感器的状态。
44005
传送带的越限传感器异常
现象
基板搬入时越限传感器发生异常。
原因
基板搬入时由于越限检出传感器没有关闭。
对策
请确认传送带上的基板和基板检出传感器的状态。
44006
基板定位错误
现象
基板搬入时发生了基板位置决定错误。
原因
基板搬入时由于越限检出停止位置传感器关闭了。
对策
请确认传送带上的基板和基板检出传感器的状态。
44007
中间基板要求信号
ON
的超时错误
现象
机器间的中间待机搬送发生了超时。
原因
机器间的中间待机搬送时后工序机器的基板要求信号没有打开。
对策
1)
请确认机器间的同步确认信号和中间待机确认信号的状态。
2)
确认异常发生时的状态请联系本公司。
44008
基板信息传送错误
现象
基板信息的传递发生了错误。
原因
基板搬送时基板信息的传递错误。
对策
1)
请确认传送带上的基板位置。
2)
请确认机器间的通信设定。
3)
确认异常发生时的状态请联系本公司。
NPM-D
问题解答
1.2 错误信息一览
EJM1DC-MB-01T-00 Page 1-51
44009
基板信息通信错误
现象
基板信息的通信发生了错误。
原因
基板搬出时基板信息的移动等待发生了超时。
对策
1)
请确认传送带上的基板位置。
2)
请确认机器间的通信设定。
3)
确认异常发生时的状态请联系本公司。
44010
基板信息确认错误
现象
基板信息的确认发生了错误。
原因
基板搬送时不能进行基板信息的确认。
对策
1)
请确认传送带上的基板位置。
2)
请确认机器间的通信设定。
4)
确认异常发生时的状态请联系本公司。
44011
LNB
命令发送错误
现象
向
LNB
发送命令发生了错误。
原因
读取基板条形码要求发生了发送错误。
对策
1)
请确认
LNB
和机器间的通信状态。
2)
请确认机器间的通信设定。
3)
确认异常发生时的状态请联系本公司。
44012
LNB
命令接收错误
现象
从
LNB
接收命令发生了错误。
原因
读取基板条形码要求发生了取得错误。
对策
1)
请确认
LNB
和机器间的通信状态。
2)
请确认机器间的通信设定。
3)
确认异常发生时的状态请联系本公司。
44013
LNB
命令接收超时
现象
从
LNB
接收命令发生了超时。
原因
等待读取基板条形码超时。
对策
1)
请确认
LNB
和机器间的通信状态。
2)
请确认机器间的通信设定。
3)
确认异常发生时的状态请联系本公司。
44014
搬送马达异常
现象
搬送马达发生了异常。
原因
基板搬送时检出了马达的驱动错误。
对策
1)
请确认搬送马达。
2)
请确认安全盖以及非常停止开关的状态。
3)
确认异常发生时的状态请联系本公司。
44015
基板停止位置传感器异常
现象
基板的停止位置传感器发生了错误。
原因
基板搬入时超限传感器比基板停止传感器先检出为打开。
对策
1)
请确认传送带上的基板和基板检出传感器的状态。
2)
确认异常发生时的状态请联系本公司。
NPM-D
问题解答
1.2 错误信息一览
Page 1-52 EJM1DC-MB-01T-00
1.2.3
紧急停止错误
SW2210
紧急停止开关开
现象
紧急停止开关按下。
原因
紧急停止开关被按下。
对策
1)
请将紧急停止开关向右旋进行复位。
(
前面
1
个后面
1
个
)
2)
即使复位紧急停止开关也不能恢复的情况下
,
有可能是开关坏了。
请联系本公司。
SW2211
伺服开关开
现象
伺服开关被关闭了。
原因
伺服开关以
OFF
的状态运转。
对策
1)
请打开伺服开关
(
前面一个、后面一个
)
。
2)
伺服开关打开了也无法修复场合下
,
有可能开关坏了。确认在机器调整的《输入确认》上伺服开关输入的状态是
处于
ON
的时候为开启
OFF
的时候为关闭。
SW2212
其他错误
现象
发生了其他的错误。
原因
发生了要因不能解析的错误。
对策
电源重启后仍不能修复的场合下
,
请联系本公司。
IL1302
盖子打开
(
前侧面前的安全开关
)
现象
发生了互锁。
原因
前安全盖子开着的情况下机器运转了。
对策
1)
如果安全盖打开了，请关闭安全盖。
2)
安全盖关闭了仍无法修复的场合下
,
有可能是安全开关损坏了。
请联系本公司。
IL1303
盖子打开
(
后侧面前的安全开关
)
现象
发生了互锁。
原因
前安全盖子开着的情况下机器运转了。
对策
1)
如果安全盖打开了，请关闭安全盖。
2)
安全盖关闭了仍无法修复的场合下
,
有可能是安全开关损坏了。
请联系本公司。
IL1304
安全装置检出
(
前工序
)
现象
发生了互锁。
原因
前工序边邻接的装置电源开着或者紧急停止
SW
被按下。
对策
1)
前工序邻接装置的主开关是关闭的场合下
,
请将电源打开。
2)
前工序邻接装置的紧急停止开关被按下的场合下
,
请解除。
IL1305
安全装置检出
(
后工序
)
现象
发生了互锁。
原因
后工序边邻接的装置电源开着或者紧急停止
SW
被按下。
对策
1)
后工序邻接装置的主开关是关闭的场合下
,
请将电源打开。
2)
后工序邻接装置的紧急停止开关被按下的场合下
,
请解除。
IL1306
盖子打开
(
前侧的内侧安全开关
)
现象
发生了互锁。
原因
前安全盖子开着的情况下机器运转了。
对策
1)
如果安全盖打开了，请关闭安全盖。
2)
安全盖关闭了仍无法修复的场合下
,
有可能是安全开关损坏了。
请联系本公司。