RX-7_InstructionManual_Rev03_C - 第137页
第 4 章 操作篇 4- 5. 安排 59 4 Tips • 基准 轨道以黄色 显示。 • 站点 上存在基板 时，以白色图形表示 。 • 各 传感器为 O N 的状态下，将显示为 红色（ ）。 4-5- 3. 供给部的安排 触摸 [ 安排 ] 画面子菜单 面板中的 [ 供料器 设置 ] ，显示 [ 供料器设置 ] 画面。 记号 名称 说明 (a) 需要供料器数 显示生产当前的 生产 程序 所需的带式供料器 数量。 (b) 完成 核对供料…
第
4
章
操作篇
4-5.
安排
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4-5-2. 传送安排
注意
要用手在装置内安放或取出基板时，请触摸[手动操(作)交付开始]，待安
全盖（罩）的锁完全解除后，再开始装置内的作业。 作业结束后请触摸
[手动操(作)交付完成]，使本机的状态恢复原状。
触摸[安排]画面子菜单面板中的[基板传送]，显示[基板传送]画面。
记号
名称
说明
(a)
传送单元示意图
显示装置内传送的状态和基板的位置。
用红色 (High (1)) 和黑色 (Low (0)) 显示传送部位的各类传
感器的输入状态。
(b)
微调动作移动速度
从
[
低速
]
、
[
中速
]
、
[
高速
]
中选择传送宽度的微调移动速度。
(c)
宽度调整
(
前通道
)
／
宽度调整(后通道)
在文本框中显示当前的前后通道宽度。
要更改通道宽度时，触摸[宽度调整]，将自动调整通道宽度。
进行微调时，触摸
/
，进行通道宽度的微调操作。
(d)
通道操作
对每个通道进行基板搬入，递送，搬出操作。
• [搬入]：从前工序设备搬入基板。
• [交付]：从上游单元向下游单元递送基板。
• [重夹]：在对象站点内进行基板的重新定位动作，重夹基
板。
• [
搬出
]
：将基板搬出到后工序设备。
(e)
手动操
(
作
)
交付开始
作业员将手伸入装置内作业时触摸。
将左右一次性更换台车降下，解除安全盖（罩）的锁定。
一边用手递送基板，一边调整传送的宽度时使用。
(f)
手动操
(
作
)
交付完成
在完成装置内的作业时触摸，将左右一次性更换台车升上，待安
全盖（罩）锁定后，确认基板的有无。
(g)
自动宽度调整
（所有通道）
自动向基准轨道的基准位置移动，根据生产程序中输入的基板宽
度，自动调整通道宽度。
第
4
章
操作篇
4-5.
安排
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4
Tips
• 基准轨道以黄色显示。
• 站点上存在基板时，以白色图形表示。
• 各传感器为 ON 的状态下，将显示为红色（ ）。
4-5-3. 供给部的安排
触摸[安排]画面子菜单面板中的[供料器设置]，显示[供料器设置]画面。
记号
名称
说明
(a)
需要供料器数
显示生产当前的生产程序所需的带式供料器数量。
(b)
完成核对供料器数
显示生产当前的生产程序所需的带式供料器中，已经完成核对的带
式供料器数量。
(c)
供给部列表
列表显示与共通面板中选择的单元带式供料器供给部相关的信息。
(d)
元件核对
触摸后，将显示
[
元件核对
]
对话框，核对每个供给部的元件或设定
库存元件。
第
4
章
操作篇
4-5.
安排
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供给部列表
显示
说明
#
显示供给位置编号。
元件名
显示生产时所用元件的元件名。
类别
显示所用带式供料器的种类。
• 8：8mm
• 12：12mm
ALT
关于元件供给位置备用目标的供给位置，显示元件供给位置备用源的供给位置
编号。
库存元件
显示每个供给部的库存元件。
CHK
触摸
[
元件核对
]
后显示
[
元件核对
]
对话框，以
OK/NG
显示通过该对话框进行的带
式供料器核对结果。