RX-7_InstructionManual_Rev03_C - 第228页
第 4 章 操作篇 4- 9. 手动控制 150 1 按 [ 手动控制 ] - [ 台架控制 ] 的顺序触摸。 2 使一次性更换台车上升 / 下降。 • 上升 一次性更换 台车：触摸 [ 一次性更换台车上升 ] 。 • 下降 一次性更换 台车：触摸 [ 一次性更换台车下降 ] 。
第
4
章
操作篇
4-9.
手动控制
149
4
4-9-3. 台架控制
在顶部菜单中按[手动控制] - [台架控制]的顺序触摸后，将显示[台架控制]画面。
[台架控制]画面仅在用户级别为[MAINTENANCE（维护）]时才会显示。
触摸共通面板选择对象单元，画面左上方将显示选择的单元。
记号
名称
说明
(a)
一次性更换台车
情报
显示操作对象一次性更换台车的类型。
• 无：无一次性更换台车，或处于已下降的状态
• 一次性更换台车(ETF)：19 个全带式供料器一次性更换台车
(b)
一次性更换台车
示意图
安装了一次性更换台车时，会显示此项。
(c)
一次性更换台车
状态
显示单元的一次性更换台车的上升
/
下降状态，通过分组中的按钮使一
次性更换台车上升/下降。
一次性更换台车上升过程中，或虚拟一次性更换台车的状态下，会显示
[上升]和红圈（
）。
如果无一次性更换台车，或一次性更换台车会被上升的状态下，则显示
[下降]和黑圈（
）。
触摸[一次性更换台车上升]，会使一次性更换台车上升，进行识别。
触摸[一次性更换台车下降]，则使一次性更换台车下降。
(d)
切割状态
一次性更换台车上配备有切割器单元时，显示切割器单元的开
/
关，用
分组中的按钮进行切断动作。
切割器打开时，显示[开]及黑圈（
）。
切割器关闭时，显示[闭]及红圈（
）。
触摸[切割切断]，即进行切割器切断动作。
第
4
章
操作篇
4-9.
手动控制
150
1
按
[
手动控制
] - [
台架控制
]
的顺序触摸。
2
使一次性更换台车上升
/
下降。
• 上升一次性更换台车：触摸[一次性更换台车上升]。
• 下降一次性更换台车：触摸[一次性更换台车下降]。
第
4
章
操作篇
4-9.
手动控制
151
4
4-9-4. 传送控制
触摸[手动控制]菜单的[传送控制]，显示[传送控制]画面。
[传送控制]画面仅在用户级别为[MAINTENANCE（维护）]时，才会显示。
记号
名称
说明
(a)
基板有无确认
执行传送通道上的基板有无确认。
与[传送单元图像]的选择无关，对所有站点的基板有无进行确认。
(b)
基板通过传感器
自动校准（示教）
当基板通过传感器的误动作发生传送驱动错误时，进行基板通过传感
器的自动调整。
（注意）请务必确认装置内的传送上没有基板或传感器的遮蔽物后，
再进行操作。
(c)
传送原点回复
传送原点发生错误时，要通过传送的原点回复动作取得正确的传送宽
度。
与
[
传送单元图像
]
的选择无关，对所有站点的原点位置进行测定。
(d)
传送单元
图像
显示本机内的传送状态及基板的位置。
使用橙色覆盖对操作对象站点进行选择。
(e)
搬入
基板从上游装置搬入。
(f)
交付
基板从上游站点交付到下游站点。
(g)
重夹
在对象站点内进行基板的重新定位动作，重夹基板。
(h)
搬出
针对在
[
传送单元图像
]
中选择的站点，将基板向下游装置搬出。
(i)
至左
针对在
[
传送单元图像
]
中选择的站点，使传送旋转，将基板向左方向
移动。
要停止旋转时，触摸[停止]按钮。
(j)
停止
针对在
[
传送单元图像
]
中选择的站点，使传送的旋转动作停止。