RX-7_InstructionManual_Rev03_C - 第229页
第 4 章 操作篇 4- 9. 手动控制 151 4 4-9- 4. 传送控制 触摸 [ 手动 控制 ] 菜单的 [ 传送 控制 ] ，显示 [ 传送 控制 ] 画面。 [ 传送控制 ] 画面仅在用 户级别为 [ MAINTENANCE （ 维护 ） ] 时，才会显示。 记号 名称 说明 (a) 基板 有无确认 执行传送通道上 的基板有无确 认。 与 [ 传送单元图 像 ] 的选择无关，对所 有站点的基板有无进 行确认。 (b) 基板 …
第
4
章
操作篇
4-9.
手动控制
150
1
按
[
手动控制
] - [
台架控制
]
的顺序触摸。
2
使一次性更换台车上升
/
下降。
• 上升一次性更换台车：触摸[一次性更换台车上升]。
• 下降一次性更换台车：触摸[一次性更换台车下降]。
第
4
章
操作篇
4-9.
手动控制
151
4
4-9-4. 传送控制
触摸[手动控制]菜单的[传送控制]，显示[传送控制]画面。
[传送控制]画面仅在用户级别为[MAINTENANCE（维护）]时，才会显示。
记号
名称
说明
(a)
基板有无确认
执行传送通道上的基板有无确认。
与[传送单元图像]的选择无关，对所有站点的基板有无进行确认。
(b)
基板通过传感器
自动校准（示教）
当基板通过传感器的误动作发生传送驱动错误时，进行基板通过传感
器的自动调整。
（注意）请务必确认装置内的传送上没有基板或传感器的遮蔽物后，
再进行操作。
(c)
传送原点回复
传送原点发生错误时，要通过传送的原点回复动作取得正确的传送宽
度。
与
[
传送单元图像
]
的选择无关，对所有站点的原点位置进行测定。
(d)
传送单元
图像
显示本机内的传送状态及基板的位置。
使用橙色覆盖对操作对象站点进行选择。
(e)
搬入
基板从上游装置搬入。
(f)
交付
基板从上游站点交付到下游站点。
(g)
重夹
在对象站点内进行基板的重新定位动作，重夹基板。
(h)
搬出
针对在
[
传送单元图像
]
中选择的站点，将基板向下游装置搬出。
(i)
至左
针对在
[
传送单元图像
]
中选择的站点，使传送旋转，将基板向左方向
移动。
要停止旋转时，触摸[停止]按钮。
(j)
停止
针对在
[
传送单元图像
]
中选择的站点，使传送的旋转动作停止。
第
4
章
操作篇
4-9.
手动控制
152
记号
名称
说明
(k)
至右
针对在
[
传送单元图像
]
中选择的站点，使传送旋转，将基板向右方向
移动。
要停止旋转时，触摸[停止]按钮。
(l)
装置内作业开始
操作人员要将手伸入装置内进行作业时，触摸此项。
将左右的一次性更换台车下降，解除安全盖（罩）的锁定。
(m)
装置内作业完成
在装置内的作业完成后，触摸此项，将左右的一次性更换台车上升，
锁定安全盖（罩）。
(n)
部分操作
对于在
[
传送单元图像
]
中选择的站点，使夹板或支撑台个别动作，确
认是否正常动作。
[夹板]：进行基板夹板的上升／下降操作。
[支撑台]：进行支撑台上升／下降的操作。
［基板停止器］：进行基板停止器（选购项）的上升／下降的操作。
［回转传送］：进行传送带的转动操作。
(o)
状态
夹紧及支撑台的 I/O 状态， High (1)用（ ）显示，Low (0)用
（
）显示。
(p)
夹板
对于在
[
传送单元图像
]
中选择的站点，使夹板上升，进行基板的夹紧
动作。
(q)
解除
对于在
[
传送单元图像
]
中选择的站点，使夹板下降，进行基板的夹紧
解除。
(r)
上升（支撑台）
对于在
[
传送单元图像
]
中选择的站点，将支撑台从原点位置上升到
25mm
的高度。
(s)
下降（支撑台）
对于在
[
传送单元图像
]
中选择的站点，将支撑台移动到下端位置。
(t)
上升（基板停止器）
对于在
[
传送单元图像
]
中选择的站点，将基板停止器（选购项）上升
到基板停止位置。
(u)
下降（基板停止器）
对于在
[
传送单元图像
]
中选择的站点，将基板停止器（选购项）下降
到基板通过位置。
(v)
传送位置调整
显示
[
传送位置调整
]
对话框，对各轨道的宽度方向位置进行调整，以
及进行后通道的基准轨道位置的示教。
对后通道的基准轨道位置进行示教后，可在[安排：调整传送宽度]对
话框中操作[自动宽度调整]时，将后通道的基准位置变更为指定的位
置。
(w)
基板停止位置调整
如果生产中基板的停止位置与目标位置存在较大偏差，即会显示
[
基
板停止位置调整]对话框，用于使用生产对象基板自动示教，实施各
站点的基板传送测试，使基板停止位置停止在正确的目标位置。
根据使用基板的材质，含有已贴片元件的重量，传送速度设定，基板
停止位置会有变化。即使将传送速度设定为低速，基板的停止位置与
目标位置有较大偏差时，要通过本操作对基板停止位置进行示教。