RX-7_InstructionManual_Rev03_C - 第65页
第 3 章 导入篇 3- 1. 安装 5 3 3-1-3. 安装 RX-7 根据导入的安装 系统生产线的 基板搬送规格，调整 本机的基板搬送面和 搬送高度。 本机单机的基板 搬送规格如下 所示。 1 拆下固定本机后部的盖子（护罩） M4 内六角螺栓 X4 ，在水平器安装用空间的 X 方向 和 Y 方向上各 放 1 个水平器。 (a) 水平器 基板传送高度 基板传送面：本 机正面侧的输送带上面 M4×10 内六角螺栓 4 根 900 - …
第
3
章 导入篇
3-1.
安装
4
3-1-2. 信号灯的安装
按压信号灯底部的滑动部分，可将信号灯放倒。
运输时
请将信号灯放倒。
设置后
请将信号灯立起来。
使滑动
第
3
章
导入篇
3-1.
安装
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3
3-1-3. 安装 RX-7
根据导入的安装系统生产线的基板搬送规格，调整本机的基板搬送面和搬送高度。
本机单机的基板搬送规格如下所示。
1
拆下固定本机后部的盖子（护罩）
M4
内六角螺栓
X4
，在水平器安装用空间的
X
方向
和
Y
方向上各放
1
个水平器。
(a)
水平器
基板传送高度
基板传送面：本机正面侧的输送带上面
M4×10
内六角螺栓
4
根
900 -10/+30 mm
第
3
章 导入篇
3-1.
安装
6
2
为了对准本机前工序和后工序的基板搬送高度，要用扳手旋转底部
7
个脚的六角螺母
来调整基板搬送高度。
向右旋转为下降，向左旋转为上升。
注意
•
脚高度调整用六角螺母的
2
面宽度为
64m
m。
(a)
锁定用螺母
(b)
脚的六角螺母
(c)
脚
3
使用扳手旋转各脚的六角螺母进行微调，以确保
X
轴和
Y
轴的水平器显示的水平度在
0.05mm
以下（
1
刻度为
0.02mm
的水平器为
2
刻度以下，
1
刻度为
0.05mm
的水平器
为
1
刻度以下）。
下降
上升