SP18 Mechanical - 第143页
Ref No. Remark s R 1 Q'ty 6-B 真 空ポンプユニット Vacuum Pump Unit ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o . キット品 番 Kit Name キット名称 N610012858AA Part Nam e 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LIST Section No. R 3 BRACKET 1 5 N210029993…
6-B
真
空ポンプユニット
Vacuum Pump Unit
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610012858AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S13
( KN610012858AA-09-2 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
6-B
真
空ポンプユニット
Vacuum Pump Unit
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610012858AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BRACKET
1
5 N210029993AA
BRACKET
1
6 N210029994AA
BRACKET
1
7 N210075617AA
SENSOR
1
10 N610026796AA Sensor:-B1001
Valve
1
11 N610026797AA Valve:-F4003
JOINT
1
17 KXF0DWRNA00 KQ2L12-02S
JOINT
1
18 N431KQ2Z-355 KQ2ZD08-02S
JOINT
1
19 KXF0E39DA00 KQ2R04-08
SILENCER
1
20 N510064385AA AN15-02
JOINT
1
21 KXF0D2ZAA00 KQ2L04-M5
JOINT
3
22 KXF0977AA00 CPS15M-8B
JOINT
3
23 KXF09Y3AA00 CPP15-8B
JOINT
3
24 KXF0DZKRA00 KQ2P-08
BOLT
2
25 N510017341AA
Hexagon socket head cap screw M3X8-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
2
27 N510017381AA
Hexagon socket head cap screw M4X8-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
2
28 N510017344AA
Hexagon socket head cap screw M4X10-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
2
29 N510017351AA
Hexagon socket head cap screw M4X16-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
2
32 N510017395AA
Hexagon socket head cap screw M5X16-10.9 A2J (Trivalent)
WASHER
4
34 N510018497AA
Round finish plain washer 4 10H A2J (Trivalent)
WASHER
2
35 N510018499AA
Round finish plain washer 5 10H A2J (Trivalent)
WASHER
2
37 N510018478AA
Small round-plain washer 3 10H A2J (Trivalent)
WASHER
2
38 N510018479AA
Small round-plain washer 4 10H A2J (Trivalent)
S14
--
( KN610012858AA-09-2 )
7
Mサイズ
枠
対応
分
割ク
ラ
ンパー (L)
M-size Mask Capable Separate Clamper(L)
パーツレイアウト
Kit No.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610012857AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
S15