KE-2070_KE-2080_KE-2080R-Rev14PDFA - 第140页
- 13 3 - 67 . VA CC UM P UM P UNI T ( N EW TYP E) 真空ポンプユニット（新タイプ） 9 4 12 3 1 2 7 6 5 10 11 13 16 17 14 15 19 18 8 20
- 132 -
NOTE( 注記 ) #01....FOR 2070,2070CL ２０７０，２０７０ ＣＬ 用
#02....FOR 2080,2080R ２０８０，２０８０ Ｒ 用
#03....BEFORE M/C REV.E(2070), マシン ＲＥＶ．Ｅ（２０７０），ＲＥＶ．Ｇ（２０８０），
REV.G(2080),REV.A(2080R) ＲＥＶ．Ａ（２０８０ Ｒ）以前
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1
#01
400-61126 VACUUM CABLE ASM 70
バキュームケーブル組７０
1
2
#02
400-61127 VACUUM CABLE ASM 80
バキュームケーブル組８０
1
3
#01
PJ-3010405-05 HALF UNION
ハーフユニオン
6
4
#02
PJ-3010405-05 HALF UNION
ハーフユニオン
7
5 400-60224 HEAD VALVE BRACKET
ヘッドバルブブラケット
1
6 400-94360 HEAD_COVER ヘッドカバー 1
7 E3858-715-000 SEAL
手触れ禁止シール
1
8 SL-6030692-TN SCREW M3 L=6
座金付き六角穴ボルト Ｍ ３ Ｌ ＝６
4
9 SL-6040642-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
4
10 SL-6030642-TN SCREW M3 L=6
座金付き六角穴ボルト
4
11
#01
400-64231 FILTER BOX U70 ASM
フィルタボックス Ｕ ７０組
1
12
#02
400-60556 FILTER BOX U ASM
フィルタボックス Ｕ 組
1
13
#01
400-62187 FILTER BOX L 70
フィルタボックス Ｌ ７０
1
14
#02
400-62188 FILTER BOX L 80
フィルタボックス Ｌ ８０
1
15
#01
400-46646 FILTER
フィルタ
6
16
#02
400-46646 FILTER
フィルタ
7
17
#01
400-46059 O RING F2
Ｏ リング Ｆ ２
6
18
#02
400-46059 O RING F2
Ｏ リング Ｆ ２
7
19
#01
400-46058 O RING F1
Ｏ リング Ｆ １
6
20
#02
400-46058 O RING F1
Ｏ リング Ｆ １
7
21 SL-6031042-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
2
22 SM-6034002-TN SCREW M3 L=40
六角穴ボルト Ｍ ３ Ｌ ＝４０
2
23 400-44551 VACUUM PUMP
真空ポンプ
1
24 400-46541 DB UNIVERSAL ELBOW
ＤＢ ユニバーサルエルボ
1
25 400-46553 PUMP BRACKET
ポンプブラケット
1
26 SM-9061203-SE SCREW M6 L=12
六角ボルト Ｍ ６ Ｌ ＝１２
4
27 400-56768 FACE PLATE B
フェイスプレート Ｂ
1
28 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
4
29 400-60226 PUMP FAN BRACKET
ポンプファンブラケット
1
30 SL-6040892-TN BOLT 座金付き六角穴ボルト 2
31 HM-0003300-30 FAN GUARD
ファンガード
1
32 SL-4033091-SC SCREW M3 L=30
なべ小ねじセムス Ｍ ３ Ｘ ０．５ Ｌ ＝３０
4
33 400-54705 VAC FAN CABLE ASM
真空ポンプファンケーブル組
1
34 PJ-3010600-03 REDUCER
レデューサ
1
35 PX-9500070-00 PLUG
プラグ
1
36 400-60222 AIR UNIT BRACKET
エアユニットブラケット
1
37 SL-4030891-SC SCREW M3X8
なべ小ねじセムス Ｍ ３ Ｌ ＝８
1
38 E1038-871-000 PLATEN LOCK CAM SCREW
プラテン ロックカム スクリュウ
1
39 PF-0200040-00 REGULATOR
レギュレータ
1
40 SM-4033001-SC SCREW M3 L=30
なべ小ねじ Ｍ ３ Ｘ ０．５ Ｌ ＝３０
2
41 PJ-3030600-03 UNION
異径ユニオン
2
42 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
3
43 SL-4030691-SC SCREW M3 L=6 座金付きなべ小ねじ Ｍ ３ Ｌ ＝６ 3
44 400-46540 VACUUM METER
バキュームメータ
1
45 BT-0400251-EA TUBE HOSE, BLUE
ウレタンホース 青
0.03
46 BT-0600400-EC TUBE HOSE, BLUE
ウレタンホース 青
16.95
47
#03
400-61995 PUMP BLADE SET
ポンプブレードセット
1
48
#03
400-61996 PUMP FILTER
ポンプフィルタ
1
- 133 -
67. VACCUM PUMP UNIT (NEW TYPE)
真空ポンプユニット（新タイプ）
9
4
12
3
1
2
7
6
5
10
11
13
16
17
14
15
19
18
8
20
- 134 -
NOTE( 注記 ) #01....AFTER REV.F(2070),REV.H(2080), ＲＥＶ．Ｆ（２０７０），ＲＥＶ．Ｈ（２０８０），
REV.B(2080R), ＲＥＶ．Ｂ（２０８０ Ｒ) 以降 ,
THE FIRST TILE MACHINE(2070C) 初号機（２０７０ Ｃ）
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1
#01
400-99547 VACUUM PUMP ASM
真空ポンプ組
1
2 400-99550 V AC PUMP PLATE
真空ポンププレート
1
3 400-99551 VAC PUMP RUBBER
真空ポンプラバー
1
4 400-99549 VAC PUMP BASE
真空ポンプベース
1
5 PJ-3090852-02 DOUBLE BRANCH UNIVERSAL ELBOW
ダブルブランチユニバーサルエルボ
1
6 PJ-3010600-03 REDUCER
レデューサ
1
7 PX-9500070-00 P LUG
プラグ
1
8 PX-0552010-00 MUFFLER (PLASTIC)
マフラ （樹脂性）
1
9 SM-1051052-TN SCREW
皿ねじ Ｍ ５ Ｌ ＝１０
4
10 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
1
11 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
4
12 CM-3003000-02 LABEL2 (25)
高温注意シール２（２５）
1
13 400-99552 VAC PUMP FAN_BR
真空ポンプファンブラケット
1
14 400-54705 VAC FAN CABLE ASM
真空ポンプファンケーブル組
1
15 HM-0003300-30 FAN GUARD
ファンガード
1
16 SL-4033091-SC S CREW M3 L=30
なべ小ねじセムス Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝３０
4
17 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
2
18 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
1
19 SM-4040601-SC S CREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ Ｍ４Ｘ０．７ Ｌ＝６
1
20
#01
400-99554 VACUUM PUMP MAINTENANCE KIT
バキュームポンプメンテナンスキット
1