NPM-D3使用说明书・维修保养篇 - 第179页
NPM-D3 EJM6DC-MB-06M-0 5 6-1 -4 每 5 6 0 小 时 保 养 定 期 检 查
NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-05
基板传送带的润滑脂添加 2
6-1-3
维修保养篇
6-1
ENABLING
●事先确认基板托板上不存在支撑
销。
●使搬送传送带的宽度调整轴连续
来回往返5次以上。
确认提示
■轨道选择 W1/W2
安装交换台车
(→P.3-2)
ENABLING
安装供料器工作台
盖(→P.3-3)
15
STOP
14
13
11
12
8
SERVO
ON
10
9
NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-05
6-1-4
每
5
6
0
小
时
保
养
定
期
检
查
NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-05
在这里对传送带L、传送带R的添加润滑脂的方法进行说明。
使用工具:润滑脂枪 所需时间:10 分钟
●对基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性轴、滚珠花键添加润滑脂。
●建议在双轨模式下进行作业。(→ P.11-2-1)
维修保养篇
6-2
传送带L、传送带R(选购件)的
润滑脂添加 1
6-2-1
1
ENABLING
2
●事先确认不存在支撑销。
确认提示
ENABLING
OFF
SERVO
3
4
打开传送带的上面
盖