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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 3 技术数据 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简 体中文 3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 145 3 图 . 3.7 - 10 倒装旋转轴的初始化 (1) 机械停止 (2) 原点传感器 原点传感器被用于初始化倒装旋 转轴。在初始化期间旋转轴将缓慢 移动，直到原点传感器被触 发。之后将在旋转轴的一个 0-30° 的区域内查找第一个零脉冲。通过这个操…
3 技术数据
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文
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3.7.4.4 倒装片经编码位置 （校准后）
3
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图 . 3.7 - 9 倒装片经编码位置 （校准后）
0°
原点传感器位置
180°
转送位置，段位器 1
125°
相机 “ 自由 ” 位置
96°
触发位置，段位器 1
90°
原点偏移位置
83°
触发位置，段位器 2
58°
相机 “ 自由 ” 位置
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使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文 3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
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图 . 3.7 - 10 倒装旋转轴的初始化
(1) 机械停止
(2) 原点传感器
原点传感器被用于初始化倒装旋转轴。在初始化期间旋转轴将缓慢移动，直到原点传感器被触
发。之后将在旋转轴的一个 0-30° 的区域内查找第一个零脉冲。通过这个操作倒装旋转轴的零点
位置将被定义。
弃置箱
2 号段位器
弃置箱
1 号段位器
1. 机械停止
2. 原点传感器
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图 . 3.7 - 11 倒装头 / 晶粒贴附段位器的位置
倒装头的转送位置，拾取和释放位置，以及贴片头晶粒贴附段位器的转送位置。