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3 技术数据 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 使用软件版本 SC.707.0 或更新 201 3 年 10 月版 简体中文 146 3 图 . 3.7 - 11 倒装头 / 晶粒贴附段位器的 位置 倒装头的转送位置，拾取和释放位置 ，以及贴片头晶粒贴附段位器的转 送位置。
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 3 技术数据
使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文 3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
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图 . 3.7 - 10 倒装旋转轴的初始化
(1) 机械停止
(2) 原点传感器
原点传感器被用于初始化倒装旋转轴。在初始化期间旋转轴将缓慢移动，直到原点传感器被触
发。之后将在旋转轴的一个 0-30° 的区域内查找第一个零脉冲。通过这个操作倒装旋转轴的零点
位置将被定义。
弃置箱
2 号段位器
弃置箱
1 号段位器
1. 机械停止
2. 原点传感器
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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文
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图 . 3.7 - 11 倒装头 / 晶粒贴附段位器的位置
倒装头的转送位置，拾取和释放位置，以及贴片头晶粒贴附段位器的转送位置。
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3.7.5 模块总览
图 . 3.7 - 12 SWS 总览
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(1) 夹持器 (2) 倒装单元
(3) 可选件 （晶粒贴附单元或线性浸渍单元）
的安装位置
(4) 晶粒推送器
(5) 供应单元 (6) X 单元
(7) 晶圆盘升降机
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