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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 3 技术数据 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简 体中文 3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 149 图 . 3.7 - 14 SWS 的模块总览 (1) 夹持单元 (2) 晶圆相机 (3) 倒装单元 (4) 晶圆支撑件 (5) 导轨 4 3 1 2 5
3 技术数据
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文
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图 . 3.7 - 13 SWS 的供应，前视图
3
(1) 电子单元 前 (2) 计算机单元
(3) 变压器 (4) 压力开关
(5) 主电源滤波器 (6) 电磁阀
(7) 保护盖
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使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文 3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
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图 . 3.7 - 14 SWS 的模块总览
(1) 夹持单元 (2) 晶圆相机
(3) 倒装单元 (4) 晶圆支撑件
(5) 导轨
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3 技术数据
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
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3.7.6 SWS 模块说明
3.7.6.1 供应单元
图 . 3.7 - 15 供应单元
3
(1) 测量压缩空气供给的压力计 (2) 电压供应
(3) 与 SIPLACE 贴片机的通讯 (4) CAN 总线
(5) 压缩空气连接 （改装型适配虚拟连接器
[03011592-01]）
(6) LAN1
(7) LAN2
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