00197546-01_UM_SiplaceCA-Series_ZH - 第150页
3 技术数据 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 使用软件版本 SC.707.0 或更新 201 3 年 10 月版 简体中文 150 3.7.6 SWS 模块说明 3.7.6.1 供应单元 图 . 3.7 - 15 供应单元 3 (1) 测量压缩空气供给的压力计 (2) 电压供应 (3) 与 SIPLACE 贴片机的通讯 (4) CAN 总线 (5) 压缩空气连接 （改装型适配虚拟…
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 3 技术数据
使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文 3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
149
图 . 3.7 - 14 SWS 的模块总览
(1) 夹持单元 (2) 晶圆相机
(3) 倒装单元 (4) 晶圆支撑件
(5) 导轨
4
3
1
2
5
3 技术数据
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文
150
3.7.6 SWS 模块说明
3.7.6.1 供应单元
图 . 3.7 - 15 供应单元
3
(1) 测量压缩空气供给的压力计 (2) 电压供应
(3) 与 SIPLACE 贴片机的通讯 (4) CAN 总线
(5) 压缩空气连接 （改装型适配虚拟连接器
[03011592-01]）
(6) LAN1
(7) LAN2
2
1
3
4
5
6
7
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 3 技术数据
使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文 3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
151
3.7.6.2 倒装单元
3
图 . 3.7 - 16 倒装单元
3
3
(1) 倒装头 (2) 吸嘴或工具的接收器
1
2
2