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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 3 技术数据 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简 体中文 3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 155 晶圆支撑件 晶圆支撑件被安装在 X-Y 单元上，因此属于晶圆台的一部分 。晶圆被固定在这里完成推送程序。 3 图 . 3.7 - 19 未插入晶圆的晶圆支撑件 （以 12" 为 例） (1) 对 12" 晶圆进行锁定和位置识别的插…
3 技术数据
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文
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3.7.6.4 晶圆台
晶圆台由一个 X-Y 单元 （带有 2 个线性轴的移动系统）和晶圆支撑件组成。
晶圆台将带有晶圆的晶圆支撑件移动到处理区域中的要求位置。
图 . 3.7 - 18 晶圆台
(1) 夹持单元
(2) 晶圆相机
(3) 倒装单元
(4) 晶圆支撑件
(5) 导轨
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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 3 技术数据
使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文 3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
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晶圆支撑件
晶圆支撑件被安装在 X-Y 单元上，因此属于晶圆台的一部分。晶圆被固定在这里完成推送程序。
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图 . 3.7 - 19 未插入晶圆的晶圆支撑件 （以 12" 为例）
(1) 对 12" 晶圆进行锁定和位置识别的插销。
(2) 晶圆锁定杆
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请注意
如要处理 8" 的晶圆，您需要更换晶圆支撑件。
结合相应的适配器可以使用 6" 晶圆的框架。
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图 . 3.7 - 20 插入了晶圆的晶圆支撑件 （以 12" 为例）
(1) 锁定杆插销上用于定义定位的凹槽
(2) 晶圆锁定杆
(3) 晶圆
(4) 导轨
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请注意
夹持期间的框架识别问题
如果晶圆锁定杆 （2）没有被正确连接，在夹持期间框架将无法被正确识别。
如果使用了 8" 晶圆支撑件，在连接晶圆锁定杆 （2）时请确保锁定杆的插销可以与
晶圆框上的凹槽啮合。
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