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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 3 技术数据 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简 体中文 3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 157 3.7.6.5 晶粒推送器 根据装配位置的不同 （2 号和 4 号或 1 号和 3 号）将使用两种不同的设 置，它们的不同之处只有 模块的镜像颠倒布局。 3 图 . 3.7 - 21 主要晶粒推送器模块 (1) 推送工具 (2) Z 轴 1 2
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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文
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图 . 3.7 - 20 插入了晶圆的晶圆支撑件 （以 12" 为例）
(1) 锁定杆插销上用于定义定位的凹槽
(2) 晶圆锁定杆
(3) 晶圆
(4) 导轨
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请注意
夹持期间的框架识别问题
如果晶圆锁定杆 （2）没有被正确连接，在夹持期间框架将无法被正确识别。
如果使用了 8" 晶圆支撑件，在连接晶圆锁定杆 （2）时请确保锁定杆的插销可以与
晶圆框上的凹槽啮合。
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3.7.6.5 晶粒推送器
根据装配位置的不同 （2 号和 4 号或 1 号和 3 号）将使用两种不同的设置，它们的不同之处只有
模块的镜像颠倒布局。
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图 . 3.7 - 21 主要晶粒推送器模块
(1) 推送工具
(2) Z 轴
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图 . 3.7 - 22 晶粒推送器基座单元
(1) Z 轴
(2) Z 轴运动 （气动）
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