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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 3 技术数据 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简 体中文 3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 161 3 图 . 3.7 - 24 晶圆交换系统 (1) 带有夹持器的晶 圆交换器 (2) 晶圆盘升降机 1 2
3 技术数据
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文
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3.7.6.7 晶圆交换系统
晶圆交换系统由晶圆盘升降机和带有夹持器的晶圆交换器组成。
为保证 SWS 可以实现全自动化生产，需要使用晶圆交换器系统。只有向晶圆盘升降机装入新的
晶圆盒时才需要操作员。
晶圆通过一个晶圆盘提供。晶圆盘由用户安放到晶圆盘升降机中。晶圆盘升降机将晶圆盘抬升到
正确的高度，使相应的晶圆位于交接位置。在这个位置，晶圆交换器可以从晶圆盘中取出晶圆，
并在晶圆被处理后将其推回原位。
晶圆交换器主要由夹持器单元和导向轨组成。夹持器单元将晶圆拾起并把它移动到当前要求的位
置。
请注意
无推送工具自动交换功能
在此第一版中，还没有可用的自动推送工具交换器。
因此，SWS 只能持续处理可以被同一种推送工具释放的晶粒。
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使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文 3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
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图 . 3.7 - 24 晶圆交换系统
(1) 带有夹持器的晶圆交换器
(2) 晶圆盘升降机
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晶圆盘升降机
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图 . 3.7 - 25 晶圆盘升降机
(1) 带有用于装放 8" 和 12 " 晶圆盘盒交换板的晶圆盘单元
(2) 马达
(3) 带有保护盖的晶圆交换器
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