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4 设置与调试 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4.6 安装 SWS 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月 版 简体中文 290 4 图 . 4.6 - 4 在 SIPL ACE 装配位置上 SWS 的螺丝位置图示 您现在可以移开叉车 / 手摇起重机了。 (1) M8 (2) M8 ( 3 )装 配 螺 丝 ( 4 )M 6 (5) M6 (6) M8 用于夹抓 (7) M6 用于角架 (8) …
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 设置与调试
使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文 4.6 安装 SWS
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4.6.3.4 SWS 的最终校准
使用叉车或手摇起重机将 SWS 小心地推入到贴片机内，直到停止在缓冲件处。
用叉车或手摇起重机小心地下放 SWS，直到它平稳地下放在贴片机的接触杆上。
4
安装 SWS 时需要使用到以下螺丝：
–3x M8
–2x M6
– 用于角架的 4x M6 （装配位置 2 颗，晶圆台 2 颗 )
– 1x 装配螺丝
4
用一颗 M8 螺丝松弛地固定后侧夹抓 （6）。
插入剩余的螺丝并松弛地上紧。
4
用一个 10 Nm 的扭矩一颗接一颗地固定好 M6 螺丝 （物件 4 和 5）。
用一个 18 Nm 的扭矩一颗接一颗地固定好 M8 螺丝 （物件 1、2 和 6）。
用一个 13-14 Nm 的扭距固定物件 3 中的装配螺丝。
用 M6 螺丝 （物件 7 和 8）固定晶圆台的角架。
用 2 颗 M6 螺丝将角架固定在晶圆台上。
谨慎
侧倾的危险！
如果在拧紧 SWS 的螺丝前下放手摇起重机，就会有 SWS 发生侧倾的危险。
在 SWS 的螺丝被拧紧前不要过多地下放手摇起重机。
在下放时，请安排第二个人检查 SWS 的稳定性。
请注意
其他螺丝
在最后安装时，请遵守以下螺丝的顺序。
请注意
SWS 的正确位置通过装配螺丝和贴片机的接触杆来确保。
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4.6 安装 SWS 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文
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图 . 4.6 - 4 在 SIPLACE 装配位置上 SWS 的螺丝位置图示
您现在可以移开叉车 / 手摇起重机了。
(1) M8 (2) M8
(3)装配螺丝 (4)M6
(5) M6 (6) M8 用于夹抓
(7) M6 用于角架 (8) M6 用于角架
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4.6.4 移除运输锁
– 移除所有运输锁：
– 翻转旋转轴
– 晶圆台 （X/Y 轴）
– 晶圆交换器馈入轴 （如有）
4.6.5 去除导轨的防腐蚀保护
检查 SWS 是否涂覆了防腐蚀保护剂。在设置 SWS 前必须将其清除。
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4
4.6.6 电源
在完成最后的调试后，将 SWS 连接到电源上。
谨慎
缩短轴承和导轨的生产寿命！
如果轴上的防腐蚀保护剂与轴承润滑脂混合，会明显降低轴承和导轨的使用寿命。
因此在调试期间首次来回移动贴片机轴时，应该先去掉所有轴和轴承上的防腐保护
物。
使用 《维护说明》中介绍的润滑脂为所有轴和轴承润滑。
谨慎
损坏轴承润滑脂的危险！
酒精会破坏导轨槽中的轴承润滑脂。
在清洁导轨和光栅尺时，请确保没有酒精进入引导推车中。