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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 目录 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文 5 2.6.5 移动元件料车 的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68 2.6.6 清空废料带容 器时的安全须 知 . . . . . . . . . . . .…
目录 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文
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2.1.3 关于安全操作的重要说明 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
2.1.3.1 概述 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
2.1.3.2 操作员和其他人员的安全 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
2.1.3.3 工厂和设备的安全. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
2.1.4 激光单元的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
2.1.5 永磁铁使用安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
2.2 贴片机上的警告标签. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
2.2.1 贴片机上的警告标签 W201、W203、W204 和 W210 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
2.2.1.1 警告标签 W201. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
2.2.1.2 警告标签 W203. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
2.2.1.3 警告标签 W204. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
2.2.1.4 警告标签 W210. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
2.2.2 悬臂上的警告标签 W202 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
2.2.3 在料带切割器上的警告标签 W205 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
2.2.3.1 在顶面的警告标签 W205 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
2.2.3.2 废料带斜滑槽上的警告标签 W205 （X/CA- 系列）. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
2.2.4 电源上的警告标签 W206 和 W1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
2.2.5 电源上的警告标签 W 和信息板 H . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
2.2.6 电源伺服放大器盖子上的警告标签 W . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
2.2.7 警告标签 W207. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
2.2.7.1 轴单元上的警告标签 W207. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
2.2.7.2 电源涌流限制器上的警告标签 W207 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
2.2.8 PCB 传送导轨上的 “ 二级激光 ” 警告标签 W208 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
2.2.9 CEKON 插头上的警告标签 W211. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
2.2.10 EMERGENCY STOP （急停）按钮上的警告标签 W209 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
2.3 SWS 上的警告标签 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
2.3.1 晶圆支撑件上的警告标签 W204. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
2.3.2 警告标签 W201 设备 SWS 的安全操作 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
2.3.3 线性浸渍单元 （LDU）上的警告 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
2.3.4 倒装单元和晶粒贴附单元上的 警告. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
2.3.5 EMERGENCY STOP （急停）按钮上的警告标签 W209 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
2.4 激光等级. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
2.4.1 一级激光 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
2.4.1.1 整台设备的激光等级 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
2.4.1.2 相机系统的激光等级 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
2.4.2 1M 级激光. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
2.4.3 二级激光 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
2.5 运输安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
2.5.1 运输贴片机 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
2.5.2 运输 SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
2.6 操作贴片机时的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
2.6.1 关闭保护盖时的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
2.6.2 处理金属粉末制电容器时的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
2.6.3 关于将吸嘴从 “ 收集 & 贴片 ” 贴片头上剥离的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
2.6.4 装卸元件料车的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
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2.6.5 移动元件料车的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
2.6.6 清空废料带容器时的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
2.6.7 废料箱与 C&P20 M 贴片头元件传感器发生碰撞的危险. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
2.6.8 设备的 ESD 安全 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
2.6.9 持续工作时 C&P20 M 贴片头上的高温. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
2.6.10 持续工作时 X 供料器模块上的高温. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
2.7 操作 SWS 的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .72
2.7.1 对晶圆台作业的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
2.7.2 更换晶圆盘的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
2.7.3 关闭保护盖时的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
2.7.4 线性浸渍单元 （LDU）的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
2.8 安全功能 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .74
2.8.1 保护盖 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
2.8.2 设备和 SWS 上的开关和按钮 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
2.8.2.1 设备和 SWS 上开关和按钮的位置 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
2.8.2.2 贴片机上开关和按钮的功能 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
2.8.2.3 S WS 上开关和按钮的功能. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
2.8.2.4 贴片机上的保护开关位置. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
2.8.3 保护接触器组合和维修插座的位置 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83
2.8.4 SIPLACE 和 SWS 的急停回路和信号电路 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84
2.8.4.1 SIPLACE 急停回路的结构 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
2.8.4.2 信号电路的结构 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86
2.8.4.3 SIPLACE 急停回路的功能 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86
2.8.4.4 SWS 急停回路的结构和控制 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
2.8.4.5 SWS 急停回路的功能. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
2.8.5 元件料车的装配位置的护手装置，SIPLACE X- 系列 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
2.9 残余电压和放电时间. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .91
2.9.1 （贴片）设备. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
2.9.1.1 按下 EMERGENCY STOP （急停）按钮后的残余电压和放电时间 . . . . . . . . . . .92
2.9.1.2 关闭主电源开关后的残余电压和放电时间. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
2.10 停用压缩空气供给和释放压力 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .94
2.11 关闭主开关后的能量状况 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .97
2.11.1 贴片机上的主开关 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97
2.11.1.1 设备主电源开关已关闭，但仍接通电源 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101
2.11.1.2 设备主电源开关已关闭并已断开电源 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
2.11.1.3 主电源开关关闭后贴片机中压缩空气的情况. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
2.11.2 SWS 的主开关 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
2.12 上锁和挂牌程序 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .106
2.12.1 目的及范围 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106
2.12.2 说明 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106
2.12.3 测试 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
2.12.4 责任和义务 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
2.12.5 培训 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
2.12.6 审查 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
目录 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
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2.13 ESD 使用说明 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111
2.13.1 ESD 代表什么？ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111
2.13.2 防止静电充电的重要措施 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111
2.13.3 如何处理 ESD 模块 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111
2.13.4 对 ESD 模块的测量与修改 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112
2.13.5 派送 ESD 模块 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112
3 技术数据. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 113
3.1 SIPLACE CA 的性能数据 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 113
3.1.1 C&P20 M 的最大值. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 114
3.1.2 技术数据 - SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 115
3.1.3 技术数据 - SMT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 116
3.2 元件供料. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117
3.3 SIPLACE CA 额定值 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
3.3.1 电气额定值 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
3.3.2 压缩空气供应和规格 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 119
3.4 SIPLACE CA 的尺寸和重量 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120
3.4.1 CA4 贴片机尺寸 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120
3.4.2 打开的保护盖的高度 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122
3.4.3 设备支脚的间隙和 PCB 传送导轨的固定边缘. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123
3.4.3.1 设备支脚间隙和单 PCB 传送导轨的固定右侧边缘 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123
3.4.3.2 设备支脚间隙和单 PCB 传送导轨的固定左侧边缘 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124
3.4.3.3 设备支脚间隙和双 PCB 传送导轨的固定右侧边缘 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 125
3.4.3.4 设备支脚间隙和双 PCB 传送导轨的固定左侧边缘 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 126
3.4.4 技术数据 - 尺寸. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 127
3.4.5 技术数据 - 重量和环境温度. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 128
3.4.6 CA4 设备元件料车的操纵距离 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 129
3.4.7 CA- 系列设备的重心 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 130
3.4.8 SWS 的重心 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 131
3.5 生产线概念 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 132
3.5.1 说明 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 132
3.6 模块总览. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134
3.6.1 SIPLACE CA4 模块总览. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134
3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135
3.7.1 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）功能 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135
3.7.2 基本 SWS 功能. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 136