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使用手冊 SIPLACE S -27 HM 3 技術㈾料 軟體版本 SR.503.xx 03/20 03 ㆗文版 3.7 模組概述－懸臂 81 3.7. 2 X 軸的構造 3 圖 3.7 - 2 X 軸的構造 X 軸基本㆖由㆘ 列主要模組構成： 3 3 3 3 －懸 臂 ( 1 ) －頭 座 (2) － X 軸測量系統 (3) － X 軸導軌系統 (4) － X 軸 3 相 AC 伺服 馬達 (5) －齒 型 皮 帶 (6) 頭座則包含…

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3 技術㈾料 使用手冊 SIPLACE S-27 HM
3.7 模組概述－懸臂 軟體版本 SR.503.xx 03/2003 ㆗文版
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3.7 模組概述－懸臂
3.7.1 懸臂的位置
3
圖 3.7 - 1 懸臂的位置
(1) 懸臂 1
(2) 懸臂 2
3
33
3
懸臂系統包括 2 個功能組 3
33
3
－ X 軸及
－ Y 軸
3
33
3
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軟體版本 SR.503.xx 03/2003 ㆗文版 3.7 模組概述－懸臂
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3.7.2 X 軸的構造
3
圖 3.7 - 2 X 軸的構造
X 軸基本㆖由㆘列主要模組構成： 3
33
3
－懸臂(1)
－頭座(2)
－ X 軸測量系統 (3)
－ X 軸導軌系統 (4)
－ X 軸 3 相 AC 伺服馬達 (5)
－齒型皮帶(6)
頭座則包含㆘列組件： 3
33
3
－ 副懸臂攝影機 (PCB 檢視模組攝影機 )
－頭座板
－ X 軸測量系統的測量頭
－ 收取及置放頭
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3.7.3 X 軸技術㈾料
¼œ:2
3.7.4 Y 軸的構造
Y 軸基本㆖由㆘列主要模組構成： 3
33
3
－ Y 軸 3 相 AC 伺服馬達
－ Y 軸齒型皮帶
－ Y 軸導軌系統
－ Y 軸測量系統
每個 Y 軸是以 3 相 AC 伺服馬達驅動。設㈲防撞擊迴路可以防止懸臂在移動軌道互相撞擊。 3
33
3
3.7.5 Y 軸技術㈾料
¼œ:2
驅動
3 相 AC 伺服馬達 / 突齒皮帶
最高速度
2.5 m/sec.
移動軌道
620 mm
距離測量系統
㈮屬直線尺規
尺規長度
646 mm
解析度 1 µm
驅動 3 相 AC 伺服馬達 / 突齒皮帶
最高速度
2.5 m/sec.
移動軌道
942 mm
距離測量系統
㈮屬直線尺規
尺規長度
1002 mm
解析度 1 µm