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Kit Name Rank Q'ty 番号 Pa rt No . キット名 品番 数量 ﾗﾝｸ 頁 Page No. 25 NPM- D2:プ ロダクシ ョン モ ジュ ラー NP M-D 2:P ro du c tio n Mo du lar キットリスト Model No. 製品品番 Model Name 製品名称 NM-EJM 5D KIT LIST 1 92 N610095857AB MU LTIFUNC TIONAL…

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25
NPM-D2:プロダクション モジュラー
NPM-D2:Production Modular
キットレイアウト
Model No.
製品品番
Model Name
製品名称
NM-EJM5D
KIT LAYOUT
--
U49
( KEJM5DS-03-25 )
Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品番
数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
No.
25
NPM-D2:プロダクション モジュラー
NPM-D2:Production Modular
キットリスト
Model No.
製品品番
Model Name
製品名称
NM-EJM5D
KIT LIST
1
92
N610095857AB
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER
UNIT:NPM
汎用型転写ユニット(メカ):NPM
O305
1
93
N610102174AA
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER UNIT(H)
汎用型転写ユニット(制御)
O325
1
94
N610105847AA
SCRAPER
SCRAPER
O327
1
95
N610072046AA
GAUGE 0-250micro/scale10micro
膜厚ゲージ 0-250μm/目盛10μm
O329
1
96
N610072047AA
GAUGE 0-500micro/scale20micro
膜厚ゲージ 0-500μm/目盛20μm
O331
U50
--
( KEJM5DS-03-25 )
26
NPM-D2:プロダクション モジュラー
NPM-D2:Production Modular
キットレイアウト
Model No.
製品品番
Model Name
製品名称
NM-EJM5D
KIT LAYOUT
--
U51
( KEJM5DS-03-26 )