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72 塗布ヘッ ド制 御 :NPM DI SP EN S ER H E AD (H ) :N PM パーツレイアウト Ki t N o . キット 品番 Kit N a me キット名称 N6 10 083 27 5A A ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LAYOUT Section No. - - O253 ( KN610083275AA-12 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
71-F
塗布ヘッド:NPM
DISPENSER HEAD:NPM
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610157748AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BLOCK
2
1 N210082171AA
HANDLE
2
2 N210082172AA
BRACKET
1
3 N210130916AC
BRACKET
1
4 N210130917AB
BRACKET
1
5 N210130918AB
BRACKET
1
6 N210134618AC
BRACKET
1
7 N210131832AA
COVER
1
8 N210134622AB
COVER
1
9 N210134629AB
BRACKET
1
10 N210130926AA
BRACKET
1
11 N210130927AB
BRACKET
1
12 N610113786AD
SPACER
2
13 N510031805AA CB-530E
WASHER
2
14 N510033408AA 87FWSSB-D20.0-V5.0-T3.0
BOLT
2
15 N510017750AA
Hexagon head bolt Best class M5X45-6g 4T A2J (Trivalent)
SCREW
26
16 N510045431AA
Cross recessed pan head machine screw with RPW M3X5-4.8 A2S
COUPLER
1
17 N510056595AA MA-MS-PC1-06(CS33843-2)
SPACER
4
18 N510019889AA ASF-325E
BOLT
12
19 N510002011AA SRBS-M4X10
JOINT
1
20 N510066671AA KQ2R04-06A
BOLT
2
21 N510032918AA CCBS3-20
SPACER
2
22 N510015643AA ASF-316E
FAN
2
23 N610083228AB
O252
--
( KN610157748AA-04-6 )
72
塗布ヘッド制
御
:NPM
DISPENSER HEAD(H):NPM
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610083275AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O253
( KN610083275AA-12 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
72
塗布ヘッド制
御
:NPM
DISPENSER HEAD(H):NPM
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610083275AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PCB
1
1 N610112762AA
S
PCB
1
2 N610112761AA
S
CONTROLLER
1
3 N510055083AA
S
E5ZN-2TNH03TC-70-1
O254
--
( KN610083275AA-12 )