JX-350_保养维修手册.pdf - 第97页
维修调整要领书 4-7 4-6 OCC 照明的光量调整 ＜程序＞ 1 ） 手动控制，确认 OCC 照明亮灯。 2 ） 进行 MS 参数的“ OCC 光量调整”。 （「 MS 参数」 OCC 光量调整） 4-7 更换 OCC 部分后的从新调整 表 4-7-1 更换 OCC 部分后的从新调整项目一览表 摄像机 组件 L 照明 组件 CCD 摄像机 镜头 L 照明 基板组件 镜头 滤光片 焦点调整 ○ － ○ － － 滤光镜调整 △ ○ △ …
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4-6
4-5 对焦调整
＜程序＞
1） 把摄像机调整夹具放到 CAL 部上面，把蚀刻面朝下。
2） 拧松固定摄像机的带垫片内六角螺栓①和②（共 6 处），将摄像机向上移动至确认可以清楚地看
见蚀刻的「2」的线（参照下图）的位置。
如果将偏光滤光片调整到刻度 0（暗）位置，线就容易看得出。
调整后，请恢复到刻度 5（明亮）。
カメラアジャスト治具
E2106998000
（T110）
CAL 部
「2」まわりの線がはっきり
見えること。
「2」周围线应清楚地看得到。
摄像机调节夹具
E2106998000
(T110)
② SL6041692TN
(4)
① SM6020302UZ
(
2
)
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4-7
4-6 OCC 照明的光量调整
＜程序＞
1） 手动控制，确认 OCC 照明亮灯。
2） 进行 MS 参数的“OCC 光量调整”。
（「MS 参数」OCC 光量调整）
4-7 更换 OCC 部分后的从新调整
表 4-7-1 更换 OCC 部分后的从新调整项目一览表
摄像机
组件 L
照明
组件
CCD 摄像机
镜头 L
照明
基板组件
镜头
滤光片
焦点调整 ○ － ○ － －
滤光镜调整 △ ○ △ － ○
OCC 光量调整（注） △ ○ △ ○ ○
OCC 偏差（注） ○ － ○ － －
原点粗调（注） ○ － ○ － －
头部偏差（注） ○ － ○ － －
BMR 偏差（注）※ ○ － ○ － －
○：必须, △：确认, －：不需要
※：选购品
（注）参考 MS 参数
MS参数的输入，请从上开始按顺序进行。
注意
为了防止对人体造成伤害，触摸屏、HOD 操作时，请勿将手伸进机器内，也不
要将脸和头部靠近机器。
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5-1
第5章 基板传送装置
为了防止突然的起动造成事故，请关掉电源之后再进行操作。
5-1 传送皮带的更换
1） 请松开传送皮带用张力调整皮带轮。
图 5-1-1 基板传送和传送皮带
2） 更换成表 5-1-1 货号的皮带。
3） 调整传送皮带的张力时，先测定没有施加张力的皮带长度，移动长孔部的传送皮带轮的位置，
让长度增加 0.5％。
＜调整方法＞
调整方法是，在传送轨道上用铅笔等以 200mm 的距离标上二个记号。
移动传送皮带轮，施加张力，让 2 个标记的距离变成 201mm。
此时，CENTER 缓冲，请注意传送轨道 FC、RC 施加皮带张力时，不要抬起来。
表 5-1-1 传送带货号
CENTER IN/OUT
IN/OUT
（1500mm 基板 安装 OP 时）
40075460 40107791 40122773
危险