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63-1 Tg1 109-ID-SO 13.6データの編集 1009-001 13.6.3 オペレーションデータ ( 基板確認マークデータ ) オペレーションデータにある基板認識マークデータの結果画面です。 基板認識で使用する各基板認識マークのデータに対応します。 10 種類のマーク No. を編集可能です。 Fig. 39-1 マーク No. 基板認識で使用する各基板認識マークのデータに対応します。 マーク形状 基板認識マ…
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Tg1109-ID-SO
13.6データの編集
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全体認識座標認識 ( ゾーン 1 ～ 5)
1点目X座標
認識 1 点目の X 座標を設定します。
1点目Y座標
認識 1 点目の Y 座標を設定します。
2点目X座標
認識 2 点目の X 座標を設定します。
2点目Y座標
認識 2 点目の Y 座標を設定します。
3点目X座標
認識 3 点目の X 座標を設定します。
3点目Y座標
認識 3 点目の Y 座標を設定します。
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Tg1109-ID-SO
13.6データの編集
1009-001
13.6.3 オペレーションデータ ( 基板確認マークデータ )
オペレーションデータにある基板認識マークデータの結果画面です。
基板認識で使用する各基板認識マークのデータに対応します。
10 種類のマーク No. を編集可能です。
Fig. 39-1
マーク No.
基板認識で使用する各基板認識マークのデータに対応します。
マーク形状
基板認識マークの形状を選択します。
マークサイズ D1、マークサイズ D2、マークサイズ D3
基板認識マークのサイズを設定します。
角度
基板認識マークを時計回り方向へ回転させる角度を設定します。
認識領域
基板認識における認識領域を設定します。
マークイメージ
カメラ画像でのマークパターンのイメージを選択します。
形状判定レベル
認識マークの形状判定レベルデータを設定します。
照明レベル
同軸、リング、オプション
各照明の輝度レベルを選択します。
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13.6データの編集
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13.6.4 装着データ (P データ )
装着 P データの編集画面です。
U データの設定および装着 P データの追加、削除、編集を行うことが
できます。
P データは、最大 100,000 ステップまで編集可能です。
Fig.40
装着 U データ
ユニットコントロール
ユニットのコントロールコードを設定します。
オフセット X
オフセット座標 X を設定します。
オフセット Y
オフセット座標 Y を設定します。
オフセット Z
オフセット角度 Z を設定します。
認識座標 X1
割り基板認識座標 1 点目 X 座標を設定します。
認識座標 Y1
割り基板認識座標 1 点目 Y 座標を設定します。
認識座標 X2
割り基板認識座標 2 点目 X 座標を設定します。
認識座標 Y2
割り基板認識座標 2 点日 Y 座標を設定します。