RP-1-Rev00 - 第89页

A21 クリーニングユニット ( オプショ ン ) Cleaning unit ( option) ｲﾗｽﾄ番 号 Ref.No. 部品コード Parts Code 部品名 Parts Name Serial No. 個数 Q'ty 備考 Remarks 同期 Repl. 1 EZA- 1899 - 202 -A SC MO UN T SC MOUNT 1 2 EZ 1- 492 - 026 - 11 ﾚﾍﾞﾙ ｽｲﾂﾁ AS…

100%1 / 162
A21
クリーニングユニット
(
オプション
)
Cleaning unit (option)
11
18
19
30
20
21
22
23
24
33
29
8
25
31
31
10
10
10
1
3
4
5
6
7
10
40
40
28
40
37
33
33
33
33
33
33
33
33
37
37
37
37
37
37
37
33
37
37
31
38
39
41
42
34
34
42
43
42
42
43
42
14
15
17
2
16
27
12
13
32
17
36
26
26
35
39
39
39
40
41
41
9
A-70
A21
クリーニングユニット
(
オプション
)
Cleaning unit (option)
ｲﾗｽﾄ番号
Ref.No.
部品コード
Parts Code
部品名
Parts Name
Serial
No.
個数
Q'ty
備考
Remarks
同期
Repl.
1 EZA-1899-202-A
SC MOUNT
SC MOUNT
1
2 EZ1-492-026-11
ﾚﾍﾞﾙ
ｽｲﾂﾁ
ASSY
SWITCH ASSY, LEVEL
1
3 EZ1-492-032-52
ｾﾝｻ-
ASSY (IN1-6)
SENSOR ASSY (IN1-6)
1
4 EZ1-492-032-62
ｾﾝｻ-
ASSY (IN1-7)
SENSOR ASSY IN1-7)
1
5 EZ1-492-032-72
ｾﾝｻ-
ASSY (IN1-8)
SENSOR ASSY (IN1-8)
1
6 EZ1-492-032-82
ｾﾝｻ-
ASSY (IN1-9)
SENSOR ASSY (IN1-9)
1
7 EZ1-492-257-12
ｾﾝｻ-
ASSY (IN1-10)
SENSOR ASSY (IN1-10)
1
8 EZ2-672-848-81
ｹ-ﾌﾞﾙ ﾍﾞｱ
(TKP0130W10-R28-38L*)
BARE (TKP0130W10-R28-38L*)
1
9 EZ4-455-346-03
ｶﾞｲﾄﾞ ﾍﾞ-ｽ
BASE, GUIDE
1
10 EZ2-990-379-01
ｼﾁﾕｳ
SUPPORT
4
11 EZ2-148-081-01
ﾐﾆﾁﾕｱｶﾝ
ﾂｷﾞﾃ
(M-3AU-4)
JOINT, MINIATURE TUBE (M-3AU-4
1
12 EZ2-672-573-91
O
ﾘﾝｸﾞ
(4
ｼﾕ
D 2040
ﾌﾂｿ
ｺﾞﾑ
)
O RING (4 MAIN D 2040)
1
13 EZ2-672-573-81
O
ﾘﾝｸﾞ
(4
ｼﾕ
D 3090S
ﾌﾂｿ
ｺﾞﾑ
)
O RING (4 MAIN D 3090S)
1
14 EZ4-455-343-02
ﾖｳｻﾞｲ
ﾀﾝｸ
TANK, SOLVENT
1
15 EZ4-455-344-02
ﾖｳｻﾞｲ
ﾌﾀ
LID, SOLVENT
1
16 EZ4-455-345-02
ﾖｳｻﾞｲ
ﾌﾟﾗｸﾞ
PLUG, SOLVENT
1
17 EZ2-672-573-01
O
ﾘﾝｸﾞ
(4
ｼﾕ
D 1010
ﾌﾂｿ
ｺﾞﾑ
)
O RING (4 MAIN D 1010)
1
18 EZ4-455-347-02
ﾉｽﾞﾙ
ﾎﾙﾀﾞ
HOLDER, NOZZLE
1
19 EZ4-455-348-02
ﾉｽﾞﾙ
ﾌﾞﾗｹﾂﾄ
BRACKET, NOZZLE
1
20 EZ4-455-349-01
ｳｹｻﾞﾗ
PLATE, RETAINER
1
21 EZ4-455-350-01
ｳｹｻﾞﾗ
ﾌﾞﾗｹﾂﾄ
BRACKET, RETAINER PLATE
1
22 EZ4-455-351-02
ﾀﾝｸｶﾞﾜ ｹ-ﾌﾞﾙ ｶﾞｲﾄﾞ
GUIDE, TANK (SIDE) CABLE
1
23 EZ4-455-352-01
ﾀﾝｸｶﾞﾜ ｹ-ﾌﾞﾙ ﾌﾞﾗｹﾂﾄ
BRACKET, TANK (SIDE) CABLE
1
24 EZ4-455-353-02
ｼﾘﾝﾀﾞ
ﾌﾞﾗｹﾂﾄ
F
BRACKET (F), CYLINDER
1
25 EZ4-455-354-02
ｼﾘﾝﾀﾞ
ﾌﾞﾗｹﾂﾄ
R
BRACKET (R), CYLINDER
1
26 EZ4-457-144-01
ｻﾎﾟ-ﾄ
(4SQS-10)
SUPPORT (4SQS-10)
2
27 EZ4-457-160-01
ﾊﾟﾈﾙ
ﾏｳﾝﾄ
ﾕﾆｵﾝ
(LQ1P12)
UNION (LQ1P12), PANEL MOUNT
1
28 EZ4-457-162-02
ﾔｸｴｷ ﾖｳ ｵﾍﾟﾚ-ﾄ ﾊﾞﾙﾌﾞ
(LVD10-*)
OPERATION RATE VALVE (LVD10-*)
1
29 EZ4-457-171-01
ｴｱ ｼﾘﾝﾀﾞ-
(MY1C16-700L)
AIR CYLINDER (MY1C16-700L)
1
30 EZ4-460-991-01
ﾒｲﾙ
ｺﾈｸﾀ
(LQ1H12-M)
CONNECTOR (LQ1H12-M)
1
A-71
A21
クリーニングユニット
(
オプション
)
Cleaning unit (option)
ｲﾗｽﾄ番号
Ref.No.
部品コード
Parts Code
部品名
Parts Name
Serial
No.
個数
Q'ty
備考
Remarks
同期
Repl.
31 EZ7-683-417-04
6
ｶｸｱﾅﾂｷﾎﾞﾙﾄ
4X5
BOLT,HEXAGON SOCKET 4X5
8
32 EZ4-470-304-01
ﾀﾝｸ
ﾄﾚｲ
TRAY, TANK
1
33 EZ4-701-529-01
ﾀｲﾏｳﾝﾄ
(MB1)
TIE MOUNT (MB1)
10
34 EZ4-707-302-01
ｽﾋﾟ-ﾄﾞ ｺﾝﾄﾛ-ﾗ
(AS1201F-M5-04)
CONTROLLER (AS1201F-M5-04)
2
35 EZ4-713-811-11
ﾊ-ﾌ ﾕﾆｵﾝ
(KJH04-M5)
UNION, HALF (KJH04-M5)
1
36 EZ4-760-520-01
ﾌｲﾝｶﾞ
ﾊﾞﾙﾌﾞ
(VHK3-04F-04F)
VALVE, FINGER (VHK3-04F-04F)
1
37 EZ7-682-247-09
+K 3X6
SCREW +K 3X6
10
38 EZ7-682-947-01
+PSW 3X6
SCREW +PSW 3X6
4
39 EZ7-683-419-04
6
ｶｸｱﾅﾂｷﾎﾞﾙﾄ
4X8
BOLT,HEXAGON SOCKET 4X8
8
40 EZ7-683-420-04
6
ｶｸｱﾅﾂｷﾎﾞﾙﾄ
4X10
BOLT,HEXAGON SOCKET 4X10
18
41 EZ7-683-425-04
6
ｶｸｱﾅﾂｷﾎﾞﾙﾄ
4X20
BOLT,HEXAGON SOCKET 4X20
2
42 EZ7-683-435-04
6
ｶｸｱﾅﾂｷﾎﾞﾙﾄ
5X10
BOLT,HEXAGON SOCKET 5X10
10
43 EZ7-688-005-11
W 5, MIDDLE
W 5, MIDDLE
4
A-72