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MODEL TCM-X200 0103-001 Key No. P AR T No. P AR T NAME Q’ ty REMARKS NOTE 115 JB-5 40 1 630 067 0004 BR AC KET 1 696JB-1 10-401 40 2 630 066 1217 BR AC KET 1 696JB-1 10-402 40 3 630 064 5699 P LA T E 1 696JB-1 10-403 40 …
MODEL TCM-X200
0203-002
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X ゲޔY ゲ X AXIS, Y AXIS
Fig. JB-5 Y ࠹ࡉ࡞ᬌㇱ Y Table Detector
409
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See Fig.JB-4
Key No.301
409
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405
406
405
410
409
412
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406
401
Fig.JB-5
TCM-X200
4797A
MODEL TCM-X200
0103-001
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
115
JB-5
401 630 067 0004 BRACKET 1 696JB-110-401
402 630 066 1217 BRACKET 1 696JB-110-402
403 630 064 5699 PLATE 1 696JB-110-403
405 630 000 0252 SENSOR,PHOTO 3 BPH44,BPH45,BPH46
696JB-110-405
406 630 000 0269 SENSOR,PHOTO(CONNECTOR) 3 696JB-110-406
407 630 000 7633 BOLT,HEX-SCT 2 696JB-110-407
408 630 000 7640 BOLT,HEX-SCT 4 696JB-110-408
409 411 113 0502 SCR PAN 3X14 6 696JB-110-409
410 411 141 0000 NUT HEX 3 6 696JB-110-410
411 411 141 2905 WASHER SPR 4 6 696JB-110-411
412 411 086 4408 WASHER SPR 3 6 696JB-110-412
413 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 6 696JB-110-413
414 411 088 9005 WASHER F 3X6X0.5 6 696JB-110-414
MODEL TCM-X200
0211-002
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XY ࠻࠶ࡊࡌࠬㇱ XY TOP BASE SECTION
Fig. JC-1 ࡃ࠶ࠢࠕ࠶ࡊࡌࠬ Back-up Base
8
See Fig.JC-4
Key No.302
See Fig.JB-4
Key No.314
See Fig.JB-4
Key No.302
8
Fig.JC-1
TCM-X200-002
4797A-002
13
BACK-UP PIN R1
3
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2
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1
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