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SIPLACE HS-60
Ausgabe 12/2004 Edition
Ceramic Substrate Centering
Retrofitting Instructions
Nachrüstanleitung
Keramiksubstrat-Zentrierung
(Weitergabe sowie Vervielfältigung dieser Unterlage, Verwertung und
Mitteilung ihres Inhalts sind nicht gestattet, soweit nicht ausdrücklich
zugestanden.
Zuwiderhandlungen verpflichten zu Schadenersatz. Alle Rechte vor-
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Nachrüstanleitung Keramiksubstrat-Zentrierung SIPLACE HS-60
Retrofit instructions Ceramic Substrate Centering Ausgabe 12/2004 Edition
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Inhalt / Contents 0
Seite/Page
1 Nachrüstanleitung Keramiksubstrat-Zentrierung SIPLACE HS-60 . . . . . . . . . . . 5
1.1 Übersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.1.1 Mögliche Zentrierarten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.1.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.2 Sicherheitshinweis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.2.1 Definitionen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.3 Nachrüstsätze, Werkzeug . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.3.1 Nachrüstsätze . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.3.2 Zusätzlich benötigtes Material . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.3.3 Werkzeuge und Prüfhilfsmittel, Verbrauchsmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.4 Vorbereitende Arbeiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.5 Mechanischer Umbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.5.1 Tausch der Hubtischplatten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.5.2 Einbau der Wegbegrenzung des Hubtischs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
1.6 Ansprechabstand des Näherungsschalters einstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
1.7 Anpassung an die Substratgröße . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
1.8 Pneumatikplan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
1.9 Stromlaufplan. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
1.10 Aktivierung der Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
1.10.1 Übersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
1.10.2 Aktivierung und Konfiguration der Keramiksubstratzentrierung . . . . . . . . . . . . . . . 31
1.11 Überprüfung der Funktion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
1.11.1 Überprüfung der Funktion der X-Zentriereinheit, OHNE Substrat . . . . . . . . . . . . . . 34
1.11.2 Überprüfen der Gesamtfunktion und der Stopper-Position, MIT Substrat. . . . . . . . 35