N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊 - 第114页
SPG EJP6AC-MB-0 3MM-03 1 2 3 3-5-2 -1 每 1500 小 时保养 基板定位升降机的 润滑油添加 使用工具：十字螺丝刀 所需时间： 15 分钟 维修保养篇 3-5-2 ● 螺丝 (4 个 ) 后面图 打开安全盖后， 取下前盖 ● 螺丝 (4 个 )
SPG EJP6AC-MB-03MM-03
3-5-1-2
每
1
5
0
0
小
时
保
养
定
期
检
查
6
对刮刀上下轴滚珠丝杠添加润滑油
(→P.3-1-2)
线性轴
(靠外侧、靠内侧各2个)
●对圆筒轴不添加润滑油。
4 5
取下刮刀头的盖
刮刀头盖
●拧松6个螺丝后取下盖
7
安装刮刀头的盖
●盖上盖后，拧紧6个螺丝
●拧紧扭矩:300±30cN･m
SPG EJP6AC-MB-03MM-03
1 2 3
3-5-2-1
每1500小
时保养
基板定位升降机的
润滑油添加
使用工具：十字螺丝刀 所需时间：15分钟
维修保养篇
3-5-2
●螺丝(4个)
后面图
打开安全盖后，
取下前盖
●螺丝(4个)
SPG EJP6AC-MB-03MM-03
3-5-2-2
(前后面)
●螺丝(4个)
(前后面)
对各部分添加润滑油(→P.3-1-2)
基板边缘夹具部
线性轴承
●对导轨添加润滑油。
(使用用润滑油枪)
自动宽度调整轴
滚珠丝杠
●添加润滑油
θ轴线性轴承
●使用喷嘴2
●用润滑油枪添加 2次
(1.8 cm
3
)润滑油
θ轴连接部
●对导轨添加
润滑油
●升降机轴的保养是,
卸下升降机轴保护盖再进行
升降机轴保护盖
升降机部线性轴
（4处）
识别用孔(清扫)
识别用孔
(清扫)
识别用孔
(清扫)
识别用孔(清扫)
螺丝(4个)
●使用不易掉纤维的柔制布
进行清扫。
自动宽度调整线性轴承
●对导轨添加润滑油
自动宽度调整轴
滚珠丝杠
●添加润滑油
每
1
5
0
0
小
时
保
养
定
期
检
查
6
5
4
●螺丝(4个)
安装前盖后，关
闭安全盖
●螺丝(4个)
后面图