N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊 - 第137页
SPG EJP6AC-MB-0 4MM-02 4 5 取下皮带 6 安装新的皮带 ●向里面推进。 ●安装前面与后面的 2 个皮带。 7 4-1-6 -2 皮带长度 型号 数量 1762 mm N510064307AA 2 ■基板传送皮带 ●向前拉出后取出。 ●废弃之际，用钳子等切断后再取下 。 ●取下前面与后面的 2 个皮带。 ●当在基板定位升降机上安装有选购 件的“基板边缘面板接收托 盘 ( 自动式 ) ”时，请客户不要自行更换 皮带…
SPG EJP6AC-MB-04MM-02
4-1-6-1
基板传送皮带的更换 1
基本定位升降机的基板传送皮带的更换
使用工具:无需 所要时间:10分钟
3
21
(退避网板清洁单元后，将
Y工作台移动到前方)
910
切换到工程师模式
(→“操作篇”的P.2-
1-3)
11 12
确认基板搬送
(→“操作篇”的P.5-
1-3)
ON
取下锁头
13
更换
维修保养篇
4-1-6
8
SPG EJP6AC-MB-04MM-02
4
5
取下皮带
6
安装新的皮带
●向里面推进。
●安装前面与后面的2个皮带。
7
4-1-6-2
皮带长度 型号 数量
1762 mm N510064307AA 2
■基板传送皮带
●向前拉出后取出。
●废弃之际，用钳子等切断后再取下。
●取下前面与后面的2个皮带。
●当在基板定位升降机上安装有选购件的“基板边缘面板接收托
盘(自动式)”时，请客户不要自行更换皮带而与敝公司联络。
注意
更
换
调整皮带张力
(→P.3-4-2-2)
SPG EJP6AC-MB-04MM-02
搬送传送带的基板传送皮带的更换
使用工具:无需 所要时间:10分钟
1 2
取下安全盖
●螺丝(4个)
安全盖
安装安全盖
●螺丝(4个)
安全盖
取下锁头
确认基板搬送
(→“操作篇”的
P.5-1-3)
8
在这里以左侧的传送带为例进行说明。右侧皮带也请按照相同的步骤更换。
4-1-6-3
基板传送皮带的更换 2
更换
维修保养篇
4-1-6
6
7
ON
5
调整皮带张力
(→P.3-4-2-2)
皮带长度 型号 数量
927 mm N510063692AA 4
■基板搬送皮带